检测项目

最大允许漏率：≤5×10⁻⁹ mbar·L/s（定量判定阈值）

压力测试范围：0-8000mbar（可调梯度增压模式）

温度适应性：-40℃至+120℃环境模拟测试

循环压力测试：1000次压力交变（5000mbar→8000mbar）

密封件形变监测：三维激光扫描精度±2μm

检测范围

真空设备密封组件：分子泵法兰、真空腔体焊缝

航空航天部件：推进剂贮箱、舱门密封环

汽车零部件：燃料电池双极板、高压电池包壳体

电子元件封装：MEMS器件封装腔体、光模块气密封装

医疗设备：人工心脏瓣膜、血液透析器密封件

检测方法

ASTM E499-20：质谱仪检漏法标准测试流程

ISO 20485:2016：非破坏性检漏方法通用规范

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测

GB/T 34528-2017：气密性试验方法及评价规范

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备真空罩检漏法

检测设备

INFICON LDS3000氦质谱检漏仪：分辨率1×10⁻¹² mbar·L/s，集成双通道质谱分析模块

PFEIFFER HLT560真空测试舱：最大工作压力10⁴ mbar，配备自动压力调节系统

ULVAC LC-800HZ泄漏校准器：标准漏孔精度±3%，量程覆盖1×10⁻⁵至1×10⁻¹¹ Pa·m³/s

KEYENCE LJ-V7300激光位移计：三维形变测量系统，采样频率393kHz

THERMO Scientific Heratherm恒温箱：温度控制精度±0.3℃，支持-70℃至+180℃温变测试