检测项目

1.温度稳定性测试：定点长时间温度监测，温度波动度计算，温度随时间变化趋势分析。

2.湿度稳定性测试：定点长时间相对湿度监测，湿度波动度计算，湿度随时间变化趋势分析。

3.温度均匀性测试：工作区及关键位置多点同步温度测量，平面与垂直方向温度梯度分析。

4.湿度均匀性测试：工作区及关键位置多点同步湿度测量，平面与垂直方向湿度梯度分析。

5.自净时间测试后的温湿度恢复：模拟干扰后，监测温度与湿度恢复至设定标准范围所需时间。

6.设备启停扰动测试：关键工艺设备启动、停止时，对其周边区域温湿度造成的瞬时扰动评估。

7.人员操作影响测试：模拟典型人员活动时，对工作区域温湿度稳定性的影响程度评估。

8. HVAC系统运行模式切换测试：空调系统在不同运行模式（如值班模式与生产模式）切换期间的温湿度过渡特性。

9.保温保湿性能验证：在空调系统停机或维持设定工况时，洁净室围护结构的温湿度保持能力测试。

10.季节性边界条件测试：在极端外部气候条件下（如夏季高温高湿、冬季低温低湿），洁净室内温湿度的长期稳定性评估。

11.报警系统验证测试：模拟温湿度超限情况，验证现场及远程监控报警系统的响应准确性与及时性。

检测范围

硅片、集成电路晶圆、微机电系统芯片、光学镜头镜片、液晶显示基板、生物培养皿、无菌制剂瓶、药用包装材料、高纯化学试剂、精密轴承、航空航天陀螺仪、纳米材料粉体、医疗植入物、无菌手术器械、细胞治疗产品、疫苗原液、抗生素原料药、诊断试剂核心组分

检测设备

1.高精度温湿度传感器：用于长期、稳定地采集空气温度与相对湿度数据；具备可追溯的校准证书，确保数据基准准确。

2.多通道温湿度数据记录仪：可同步采集并记录多达数十个测点的温湿度数据；支持无线传输与远程监控功能。

3.温湿度均匀性验证系统：由多个校准一致的传感器与中央处理器组成，专门用于空间均匀性与波动度的自动化测试与分析。

4.手持式温湿度测量仪：用于快速巡检、测点验证与局部区域的补充测量；响应速度快，便于移动使用。

5.热球式风速仪：测量送风口风速，辅助分析气流组织对温湿度分布的影响；部分型号集成温湿度测量功能。

6.数据采集与分析软件：对海量监测数据进行存储、处理、可视化与报告生成；可计算波动度、均匀度及生成趋势曲线。

7.温湿度校准设备：包括精密恒温恒湿箱、标准露点仪等，用于对现场使用的传感器进行期间核查或现场校准。

8.移动式温湿度发生装置：可产生特定温度湿度的气流，用于进行自净恢复测试或局部扰动模拟测试。

9.环境监控系统信号模拟器：用于向洁净室中央监控系统发送模拟的温湿度超限信号，以验证报警功能的有效性。

10.保温性能测试仪：通过测量围护结构表面温度或热流密度，间接评估其对室内温湿度环境的维持能力。