检测项目
几何尺寸精度:
- 长度尺寸偏差:标称值±0.1μm至±2μm(参照ISO3650)
- 平行度误差:≤0.3μm/100mm(JJG146)
- 垂直度误差:≤1.0μm/100mm(ISO3650)
- 平面度:≤0.15μm(GB/T11337)
- 直线度:≤0.2μm/100mm(ISO12780)
- 圆柱度(附件):≤0.8μm(ISO12180)
- 粗糙度Ra值:≤0.05μm(ISO4287)
- 镜面反射率:≥85%(入射角60°,GB/T9754)
- 表面缺陷:划痕≤φ0.01mm(ISO14978)
- 硬度:HV≥800(ISO6507)
- 热膨胀系数:(11.5±1.0)×10⁻⁶/K(-10°C至30°C,ASTME228)
- 弹性模量:≥200GPa(GB/T22315)
- 透光率(玻璃块规):≥92%(波长550nm,ISO9050)
- 折射率均匀性:≤5×10⁻⁶(DIN3140)
- 温度循环稳定性:±0.2μm(-10°C至40°C,5cycles)
- 湿度稳定性:±0.3μm(30%RH至80%RH,48h)
- 附件配合间隙:≤2μm(JJG146)
- 锁定重复定位精度:≤0.5μm(ISO230-2)
- 表面磨损量:≤0.02μm/100次(摩擦负荷5N,ISO8251)
- 剩磁强度:≤0.002T(铁基块规,IEC60404-14)
- 耐腐蚀性:盐雾试验96h无锈蚀(ISO9227NSS)
检测范围
1.钢制块规:GCr15/9Cr18等合金钢,重点检测尺寸稳定性与耐磨性
2.碳化钨块规:超硬材料,侧重表面粗糙度及热膨胀系数控制
3.陶瓷块规:ZrO₂/Al₂O₃材质,检测重点为抗冲击强度与绝缘性
4.石英玻璃块规:光学级熔融石英,专注透光率与折射率均匀性
5.微晶玻璃块规:零膨胀材料,核心检测热滞后效应
6.组合式块规组:多尺寸套件,验证组合累积误差(≤1.5μm/100mm)
7.附件系统:调整棒/夹持器,检测配合精度与机械强度
8.高温块规:耐热合金材质,关键检测高温尺寸漂移(≤0.5μm/100°C)
9.磁性块规:永磁体集成型,额外校验磁干扰参数
10.防震块规:阻尼结构设计,重点测试抗冲击性能(半正弦波11ms,30g)
检测方法
国际标准:
- ISO3650:2023几何产品规范(GPS)长度标准块规
- ASTME115-21块规表面光洁度显微检测方法
- DIN861-1:2022块规和附件第1部分:技术要求
- ISO1:2022标准参考温度(20°C环境要求)
- GB/T6093-2021几何量技术规范(GPS)长度标准块规
- JJG146-2022量块检定规程
- GB/T10610-2023产品几何技术规范(GPS)表面结构接触式轮廓法
- GB/T4339-2023金属材料热膨胀特性测量方法
检测设备
1.激光干涉仪:ZygoGPI-XP型(分辨率0.1nm,量程100m)
2.坐标测量机:ZeissACCURAII(空间精度0.6μm+L/400)
3.电子比较仪:TESAMicro-Hite600(分辨率0.01μm,量程600μm)
4.平面干涉仪:QedTechnologiesSSI-A(平面度测量精度λ/100)
5.轮廓粗糙度仪:MitutoyoSJ-411(纵向分辨率0.8nm,扫描速度0.5mm/s)
6.维氏硬度计:BuehlerMicromet5JianCe(载荷范围10gf-50kgf)
7.热膨胀仪:NetzschDIL402Expedis(温度范围-160°C~2000°C,分辨率0.05μm)
8.光谱椭偏仪:J.A.WoollamM-2000V(波长范围245-1700nm)
9.恒温实验室系统:20±0.1°C温控,±2%RH湿度控制
10.激光测长机:SIOSMeßtechnikSP2000(测量不确定度0.02μm/m)
11.表面缺陷检测仪:KEYENCEVR-5000(光学放大率5000倍)
12.磁通计:LakeShore480(灵敏度0.1μT)
13.环境试验箱:WeissTechnikWK3-720(温变速率5°C/min)
14.光学分光光度计:ShimadzuUV-3600iPlus(波长精度±0.1nm)
15.电子天平:SartoriusCPA225D(分辨率0.01mg,密度测量用