检测项目

脉冲幅值范围：0.1-10V，测量精度±0.5%

上升时间检测：2ns-100μs，分辨率0.1ns

过冲率分析：阈值设定≤5% Vp-p

脉冲宽度稳定性：±1% @1kHz重复频率

绝缘耐压测试：DC 500V-5kV，漏电流≤10μA

检测范围

半导体晶圆及封装器件

MEMS传感器敏感元件

高频电路基板材料

医疗电子植入电极

航天级连接器触点

检测方法

示波器法：ASTM F1158-2021《电子设备脉冲测量规范》

差分探针法：ISO 11452-4:2020车辆电子抗扰度测试

耐压测试法：GB/T 16927.1-2011高电压试验技术

热成像分析法：IEC 62047-21:2014微机电系统测试

时域反射法：GB/T 17626.5-2019电磁兼容试验技术

检测设备

Tektronix DPO7254C数字荧光示波器：70GHz带宽，400GS/s采样率

Keysight 81160A脉冲发生器：15Vpp输出，5ps时间分辨率

Chroma 19032耐压测试仪：0-5kV连续可调，0.1μA分辨率

Fluke Ti450红外热像仪：640×480分辨率，±1℃测温精度

Rohde&Schwarz RT-ZD60差分探头：6GHz带宽，±30V量程