检测项目
1.几何尺寸零位偏差：平面度≤0.005mm/m²，直线度误差≤0.003mm/300mm
2.电气零点漂移量：电压基准偏差≤±0.1mV（DC10V量程），电流零点波动≤±0.05%FS
3.传感器响应线性度：非线性误差≤0.02%FS（满量程），重复性误差≤±0.005mm
4.旋转轴径向跳动量：径向跳动≤0.0015mm（Φ50mm测量面），轴向窜动≤0.002mm
5.光学系统基准对准精度：光轴偏移量≤3μm（500mm焦距），像面倾斜角≤0.003°
检测范围
1.精密机械部件：数控机床导轨系统、三坐标测量机运动机构
2.电子测量仪器：高精度数字万用表、示波器探头补偿电路
3.光学成像设备：激光干涉仪反射镜组、显微镜载物台定位系统
4.自动化执行机构：工业机器人关节编码器、伺服电机闭环控制系统
5.传感器组件：LVDT位移传感器零点、压电式加速度计基准电压
检测方法
1.ISO230-1:2012《机床检验通则》第1部分几何精度评定
2.GB/T17421.2-2016《机床检验条件》静态精度与定位精度测试
3.ASTME2309-05(2020)位移传感器线性度校准标准方法
4.IEC61010-1:2010+AMD1:2016测量设备安全通用要求
5.JJG34-2008《指示表检定规程》机械式量表零位复现性测试
检测设备
1.HexagonGlobalS系列三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm，配备TP200扫描测头
2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量分辨率0.001μm，最大量程80m
3.Fluke8846A精密数字万用表：基本DCV精度±0.0024%，6½位数显
4.MitutoyoLH-600电子水平仪：角度分辨率0.001°，量程±10°
5.Keysight33522B函数发生器：频率精度±1ppm，输出幅度分辨率1mVpp
6.OGPSmartScopeFlash500多传感器系统：光学放大倍率35X~220X，Z轴重复性0.5μm
7.PIP-621.ZCD压电陶瓷定位台：闭环定位分辨率0.03nm，行程100μm
8.Bruel&Kjaer8305标准振动台：频率范围5Hz-10kHz，加速度失真度<1%
9.ThorlabsPAX1000偏振分析仪：角度测量精度±0.05°，波长范围400-1100nm
10.NationalInstrumentsPXIe-4082高精度DAQ：24位ADC，采样率1.8MS/s同步采集