检测项目

1.狭缝宽度精度：测量范围0.1-5.0mm，公差0.5μm

2.边缘直线度偏差：最大允许误差≤0.8μm（全长）

3.平行度误差：基准面与狭缝轴线偏差≤1.2μm/m

4.表面粗糙度：Ra≤0.05μm（接触面区域）

5.对称度公差：中心线偏移量≤0.3μm（双向测量）

检测范围

1.光学仪器用金属狭缝组件（不锈钢/钛合金）

2.半导体晶圆切割接收器模块

3.高能激光系统光束整形狭缝

4.精密机械导向槽结构件

5.医疗影像设备准直器狭缝阵列

检测方法

1.ASTME1951-14《精密狭缝尺寸激光干涉测量法》

2.ISO10110-8:2020《光学元件几何公差检测规范》

3.GB/T1800.1-2020《产品几何技术规范（GPS）线性尺寸公差》

4.GB/T1184-1996《形状和位置公差未注公差值》

5.ISO4287:1997《表面结构轮廓法术语定义及参数》

检测设备

1.ZygoVerifireHD激光干涉仪：分辨率0.1nm，用于狭缝宽度动态测量

2.MitutoyoCMMCRYSTA-ApexS系列三坐标机：空间精度(1.9+L/250)μm

3.BrukerContourElite光学轮廓仪：垂直分辨率0.01nm，表面形貌分析

4.KeyenceLM-9000系列激光位移计：采样频率50kHz，实时监测狭缝变形

5.OlympusSTM7测量显微镜：2000倍光学放大，边缘缺陷自动识别

6.TaylorHobsonFormTalysurfPGI3D轮廓仪：Z轴重复性0.01μm

7.RenishawXL-80激光校准系统：线性定位精度0.5ppm

8.NikonNEXIVVMZ-S655T视频测量系统：双远心镜头亚微米级尺寸解析

9.Agilent5530动态校准仪：振动环境下狭缝稳定性测试

10.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：便携式现场形位公差检测

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与接收器狭缝检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。