检测项目
1.几何精度校准：直线度误差≤0.003mm/m，平面度误差≤0.005mm/㎡
2.温度稳定性测试：工作温度范围-10℃~50℃，热漂移量≤0.0015mm/℃
3.重复定位精度验证：XYZ三轴重复性≤0.002mm
4.动态响应特性分析：最大加速度3m/s，速度波动率≤1.5%
5.激光发射器波长校准：波长偏差≤0.5nm@632.8nm
检测范围
1.金属加工件：数控机床导轨、精密模具镶块等
2.光学元件：激光准直镜组、投影仪菲涅尔透镜等
3.电子组件：PCB定位治具、半导体晶圆载具等
4.复合材料构件：碳纤维无人机机架、玻璃钢模具等
5.3D打印制品：金属增材制造支撑结构、光固化树脂模型等
检测方法
1.ASTME2309-22《激光跟踪系统性能评估标准》
2.ISO10360-7:2021《坐标测量机验收与复检规范》
3.GB/T17421.2-2022《机床检验通则第2部分：数控轴定位精度》
4.JJF1308-2019《激光干涉仪校准规范》
5.DIN876-3:2018《平板和直角尺的几何公差》
检测设备
1.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量分辨率0.001μm
2.HexagonLeitzPMM-C三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm
3.APIXDLaser跟踪仪：动态测量速率1000Hz
4.MitutoyoCMMCrysta-ApexS：接触式探针重复性0.3μm
5.Keysight5530动态校准仪：频率响应范围0-500Hz
6.ZygoVerifireMST干涉仪：面形精度λ/20PV值
7.OGPSmartScopeFlash500影像仪：光学放大倍率200X
8.Fluke629测温记录仪：温度分辨率0.01℃
9.Starrett98-6精密水平仪：灵敏度0.02mm/m
10.NikonNivoC系列全站仪：角度测量精度1"