检测项目

1. 沟槽深度测量：精度±0.02mm，测量范围0.1-50mm；

2. 沟槽宽度检测：误差≤±0.05mm；

3. 侧壁倾斜角度分析：分辨率0.1°，范围0°-90°；

4. 表面粗糙度评估：Ra值0.1-6.3μm；

5. 底部曲率半径测定：最小分辨率0.01mm。

检测范围

1. 金属材料：铝合金/不锈钢精密加工件；

2. 高分子材料：注塑成型PVC/聚碳酸酯沟槽件；

3. 复合材料：碳纤维增强塑料层压结构；

4. 电子元件：PCB微米级电路通道；

5. 光学元件：玻璃/石英基材衍射光栅。

检测方法

1. ASTM E3-11：金相试样制备与显微测量；

2. ISO 4287:1997：表面轮廓接触式测量规范；

3. GB/T 1800.2-2020：产品几何技术规范（GPS）线性尺寸公差；

4. ASTM D638-14：塑料拉伸性能测试中的断裂面分析；

5. GB/T 11337-2004：平面度误差检测方法。

检测设备

1. Zeiss CONTURA G2三坐标测量机：三维形貌重构精度1.8μm+L/300；

2. Keyence LJ-V7000激光扫描仪：非接触式测量速度10kHz；

3. Mitutoyo Surftest SJ-410轮廓仪：触针半径2μm,量程800μm；

4. Olympus BX53M金相显微镜：5000倍放大带EDS成分分析模块；

5. Taylor Hobson Form Talysurf i系列表面粗糙度仪：垂直分辨率0.8nm；

6. Nikon NEXIV VM-300影像测量系统：双远心镜头重复精度±1μm；

7. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：白光干涉法纳米级测量；

8. Hexagon Absolute ARM 7轴测量臂：便携式现场检测精度15μm；

9. Alicona InfiniteFocus G5焦点变化系统：轴向分辨率10nm；

10. Renishaw REVO 5轴测量系统：动态多传感器同步采集。