超纯水检测

检测项目

理化特性检测：

• 电阻率：>18.2MΩ·cm（参照ASTMD1125）
• 电导率：≤0.055μS/cm（25°C）
• 温度控制：25±0.1°C（稳定性偏差≤0.05°C）

化学纯度检测：

• 总有机碳（TOC）：≤1μg/L（检测限0.03μg/L）
• 离子浓度：钠离子≤0.001ppm、氯离子≤0.001ppm（偏差±0.0005ppm）
• 重金属残留：铅≤0.0001ppm、铜≤0.0001ppm

微生物控制检测：

• 细菌总数：≤1CFU/mL（参照ISO6222）
• 内毒素含量：≤0.001EU/mL（LAL法）
• 生物负荷：培养法检测活菌密度≤0.1CFU/100mL

颗粒物监测：

• 颗粒计数：≥0.1μm颗粒数≤10/mL（参照ISO21501-4）
• 颗粒尺寸分布：0.2-5μm范围占比≥95%
• 浊度：≤0.1NTU（散射法）

溶解气体分析：

• 溶解氧浓度：≤5μg/L（膜电极法）
• 二氧化碳含量：≤0.5ppm（红外吸收法）
• 氮气残留：≤1ppm（气相色谱法）

硅含量检测：

• 总硅浓度：≤0.1μg/L（钼蓝比色法）
• 反应硅：≤0.05μg/L（参照ASTMD859）
• 胶体硅：≤0.01μg/L（超滤分离法）

氧化还原特性：

• 氧化还原电位（ORP）：-200至+200mV（铂电极法）
• 还原物质总量：≤0.1mg/LKMnO4当量
• 过氧化物残留：≤0.01ppm（滴定法）

有机污染物检测：

• 紫外吸收率：254nm处≤0.001cm⁻¹（分光光度法）
• 挥发性有机物：单个组分≤0.1μg/L（GC-MS法）
• 非挥发性残留：蒸发残渣≤0.1mg/L

放射性核素检测：

• 总α放射性：≤0.1Bq/L（闪烁计数法）
• 总β放射性：≤1Bq/L（参照GB/T5750）
• 特定核素：铀≤0.01μg/L

电化学稳定性：

• pH值：6.8-7.2（25°C，玻璃电极法）
• 电化学噪声：波动幅值≤1mV/min
• 腐蚀电位：-0.5至+0.5Vvs.SCE

检测范围

1.半导体制造用水：用于晶圆清洗和蚀刻工艺，检测重点包括电阻率稳定性、颗粒物控制和TOC限值，确保无金属离子污染。

2.制药注射用水：符合药典纯化水标准，侧重微生物负荷、内毒素含量和化学杂质检测，保障无菌安全性。

3.生物实验室纯水：应用于细胞培养和试剂配制，重点检测细菌总数、溶解气体浓度和UV吸收率，避免生物干扰。

4.电力工业锅炉用水：用于高压蒸汽系统，检测硅含量、离子残留和电导率，防止结垢和腐蚀。

5.精密仪器清洗用水：针对光学元件和传感器，侧重颗粒物计数、浊度和有机污染物，确保无残留物损伤。

6.微电子清洗用水：服务于芯片封装，重点检测重金属浓度、氧化还原电位和放射性核素，维持电子性能稳定。

7.化学分析用水：作为实验空白对照，检测TOC、离子纯度和pH值，保证分析准确性。

8.光学玻璃清洗用水：用于镜头和镜面处理，侧重颗粒尺寸分布、硅含量和浊度，防止表面划痕。

9.食品饮料用水：应用于灌装生产线，检测微生物控制、化学残留和溶解氧，符合食品安全规范。

10.医疗设备灭菌用水：用于消毒器械，重点检测内毒素、生物负荷和过氧化物，确保无热原污染。

检测方法

国际标准：

• ASTMD1125-23电导率和电阻率标准测试方法
• ISO14402:2021水质-总有机碳测定-催化氧化法
• ISO21501-4:2018粒度分析-光散射法测定液体中颗粒
• ISO6222:2020水质-微生物计数-膜过滤法
• ASTMD859-23硅含量测定标准方法

国家标准：

• GB/T6682-2022分析实验室用水规格和试验方法
• GB/T5750-2023生活饮用水标准检验方法
• GB/T15453-2021工业循环冷却水中硅的测定
• GB/T17378-2022海水水质监测规范（适用于溶解氧）
• GB/T5750.8-2023放射性指标检验方法

国际标准如ISO侧重光散射颗粒检测，国家标准GB/T采用等效膜过滤法替代；ASTM硅检测使用钼蓝试剂，GB/T优化为比色法降低误差；微生物方法中ISO要求特定培养介质，GB/T调整温度参数以适应本土环境。

检测设备

1.电阻率计：Metrohm856型（测量范围0.001-20MΩ·cm，精度±0.1%）

2.TOC分析仪：ShimadzuTOC-L系列（检测限0.03μg/L，响应时间<3分钟）

3.颗粒计数器：HachPSSAccuSizer系列（尺寸检测0.1-400μm，流量1L/min）

4.离子色谱仪：ThermoScientificDionexICS-6000（分辨率≥0.001ppm，流速0.2-2mL/min）

5.微生物膜过滤系统：MilliporeMilliflexPlus（过滤孔径0.22μm，培养温度37±1°C）

6.紫外分光光度计：AgilentCary3500（波长范围190-800nm，带宽≤1nm）

7.pH/ORP计：HannaInstrumentsHI98190（测量精度±0.01pH，ORP范围±2000mV）

8.溶解氧测定仪：YSIProODO（检测限0.1μg/L，响应时间<30秒）

9.原子吸收光谱仪：PerkinElmerPinAAcle900F（重金属检测限0.0001ppm，火焰/石墨炉模式）

10.电感耦合等离子体质谱仪：Agilent8900ICP-MS（多元素同时分析，检测限0.00001ppm）

11.硅分析仪：HachSL1000（测量范围0-100μg/L，精度±5%）

12.内毒素检测仪：LonzaKinetic-QCL（动态浊度法，检测限0.001EU/mL）

13.气相色谱仪：Agilent8890（挥发性有机物分析，检测限0.01μg/L）

14.放射性检测器：BertholdLB770（α/β计数，灵敏度0.01Bq/L）

15.腐蚀电位测量系统：GamryInterface1010E（电位范围±10V，电流分辨率

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"超纯水检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。