检测项目

1.面形精度：PV值≤λ/10（λ=632.8nm），RMS≤λ/50

2.透过率测试：波长范围200-2500nm，偏差≤0.5%

3.折射率均匀性：Δn≤510⁻⁶（@633nm）

4.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（100100μm区域）

5.角度公差：顶角偏差≤3"，直角误差≤2"

检测范围

1.石英玻璃棱镜（JGS1/JGS2/JGS3）

2.氟化钙（CaF₂）红外棱镜

3.硫系玻璃（As₂S₃/Ge₂Sb₂Te₅）棱镜

4.硅/锗基半导体棱镜

5.聚合物光学棱镜（PMMA/PC）

检测方法

1.ASTME903-20《材料透光率测试标准》

2.ISO10110-5:2015《光学元件面形精度评估》

3.GB/T7962.1-2010《无色光学玻璃测试方法》

4.ISO14997:2012《光学表面缺陷检测规范》

5.GB/T11168-2021《光学晶体折射率测量技术规范》

检测设备

1.ZygoVerifire™MST激光干涉仪：面形精度测量（精度0.1nm）

2.PerkinElmerLambda1050分光光度计：200-3300nm波段透过率分析

3.TaylorHobsonPGIDimension轮廓仪：表面粗糙度三维测量

4.TriopticsOptiAngleUA3S自动测角仪：角度公差0.5"级测量

5.MitutoyoRA-1200M全自动折射仪：折射率分辨率110⁻⁶

6.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：非接触式表面形貌分析

7.Agilent5500原子力显微镜：纳米级表面缺陷检测

8.Schmidt+HaenschKPR-3000偏振测量系统：双折射特性分析