检测项目

1.真空系统密封性：极限真空度≤510-3Pa，泄漏率＜110-9Pam3/s

2.电子束流稳定性：波动范围0.5%（额定功率30kW时）

3.聚焦精度控制：束斑直径偏差≤0.1mm（工作距离500mm）

4.温度场均匀性：熔池区域温差≤15℃（2000℃设定值）

5.冷却系统效率：循环水流量≥20m/h，温升ΔT≤5℃

检测范围

1.难熔金属材料：钽、铌、钨及其合金铸锭

2.航空航天合金：钛铝基（TiAl）、镍基单晶高温合金

3.半导体级硅材料：纯度≥99.9999%的晶体生长体

4.核工业部件：锆合金包壳管坯料

5.陶瓷复合材料：碳化硅纤维增强钛基复合材料

检测方法

1.ASTME1256-17高温测量系统校准规范

2.ISO15379-1:2015电子束熔炼炉安全要求

3.GB/T13301-2020金属材料高温拉伸试验方法

4.ASTME112-13晶粒度测定标准指南

5.GB/T5168-2020钛及钛合金缺陷超声波检验方法

检测设备

1.INFICONZQN2300残余气体分析仪（真空成分检测）

2.KEYENCELJ-V7080激光位移传感器（束斑形貌分析）

3.FLIRA8300sc红外热像仪（温度场分布监测）

4.AMETEKX射线衍射仪（晶体结构表征）

5.BRUKERQ4TASMAN直读光谱仪（成分快速分析）

6.AGILENT7890B气相色谱仪（真空室残留气体分析）

7.MITUTOYORH-3000圆度测量仪（熔炼产品几何精度）

8.ZWICKZ100高温拉伸试验机（力学性能测试）

9.OLYMPUSMX63L金相显微镜（微观组织观测）

10.THERMOSCIENTIFICARL4460火花直读光谱仪（痕量元素分析）