检测项目

1.气体浓度测定：测量范围0.1-1000ppm（体积分数），分辨率0.01ppm

2.纯度分析：测定F₂含量≥99.9%，识别N₂/O₂/CF₄等杂质组分

3.水分含量检测：露点温度-80℃至+20℃，精度1℃

4.腐蚀性产物分析：HF含量检测限0.05ppm

5.泄漏速率测试：灵敏度110⁻⁶Pam/s

检测范围

1.工业级氟气储运容器（钢瓶/槽车）

2.半导体制造用电子级氟气

3.铀浓缩工艺六氟化铀体系

4.含氟聚合物生产原料气

5.核燃料后处理废气系统

检测方法

ASTMD6350-14：傅里叶变换红外光谱法测定含氟气体组分

ISO21484:2017：核设施中六氟化铀的化学分析

GB/T28727-2012：气体分析微量水分的测定电解法

GB12358-2006：作业场所空气中有毒物质监测规范

ISO10156:2017：气体混合物的毒性及腐蚀性评估

检测设备

ThermoScientificNicoletiS50FTIR：配置长光程气体池（10m），用于ppm级F₂定量分析

SiemensUltramat23NDIR分析仪：双光束非分光红外技术监测HF浓度

Agilent8890GC-TCD：配备PLOT-Q色谱柱分离F₂/N₂/O₂混合气

MichellOptidewVision冷镜式露点仪：-80℃超低湿度测量系统

INFICONHLD6000氦质谱检漏仪：改装氟气专用探头实现10⁻⁶级泄漏检测

HoribaVA-5000在线分析系统：集成UV吸收+电化学传感器实时监控管道气体

AMETEK5100E氧分析仪：氧化锆传感器测量残余氧含量≤1ppm

DynamentIR-F12固定式探测器：催化燃烧原理实现危险区域连续监测