扩散喷射泵检测

检测项目

1.极限真空度：测量范围110⁻⁴Pa至110⁻⁷Pa，精度5%

2.抽气速率：测试区间10L/s至5000L/s，动态流量法测定

3.泄漏率：氦质谱法检测，灵敏度≤110⁻Pam/s

4.返油率：油蒸气回流量测试，阈值＜0.01mg/cmh

5.热稳定性：持续运行72小时温升监测，允许偏差3℃

检测范围

1.金属结构件：不锈钢304/316L腔体、铝合金转子的渗透性检测

2.高分子密封件：氟橡胶O型圈、聚酰亚胺轴封的耐压测试

3.特种涂层：二硫化钼润滑层、氮化钛耐磨层的附着力评估

4.冷却系统：水冷管路承压能力（0-1.6MPa）及热交换效率测试

5.电气组件：电机绕组绝缘电阻（≥100MΩ）及耐压强度（AC2000V/60s）验证

检测方法

1.ASTMD5283-2019：氦质谱检漏法测定系统泄漏率

2.ISO21360-2018：真空泵性能测试通用方法

3.GB/T6307.1-2020：容积真空泵性能测量方法

4.ISO1608-2:2020：蒸汽喷射真空泵抽速测定规范

5.GB/T3163-2022：真空技术术语及图形符号

检测设备

1.AgilentVS-Series真空计组：覆盖110⁻Pa至110⁻⁸Pa全量程测量

2.INFICONELT3000氦质谱检漏仪：最小可检漏率510⁻Pam/s

3.LeyboldTW300热偶真空计：前级真空段（1000Pa-0.1Pa）精确监控

4.PfeifferHPT200分子泵组：建立高真空环境（≤510⁻⁶Pa）基准条件

5.Keysight34461A数字万用表：电气参数测量精度达6位分辨率

6.FlukeTi450红外热像仪：温度场分布监测（-20℃至650℃）

7.BrukerDektakXT轮廓仪：涂层厚度测量精度0.5nm

8.Instron5985万能试验机：材料拉伸强度测试（0-300kN）

9.ShimadzuGC-2030气相色谱仪：油蒸气成分分析（C8-C20烃类）

10.HIOKIIR4053绝缘电阻测试仪：500V/1000V双量程绝缘性能评估

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"扩散喷射泵检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。