检测项目

1. 波长范围测量：0.1mm-50mm波长分辨率达±0.5μm

2. 波幅精度分析：±0.05μm测量精度（20℃恒温环境）

3. 周期特性判定：波形重复性误差≤3%

4. 方向角偏差：±0.5°角度测量精度

5. 综合评定指数：按ISO 13565-3计算Rk参数

检测范围

1. 金属材料：铝合金轧制板材/发动机缸体珩磨面

2. 非金属材料：高分子密封件/陶瓷轴承滚道

3. 复合材料：碳纤维增强塑料层合板

4. 电子元件：PCB板铜箔线路

5. 光学元件：非球面透镜模仁

检测方法

1. ASTM E177-20接触式探针法

2. ISO 4287:1997非接触白光干涉法

3. GB/T 1031-2009二维轮廓评定法

4. ISO 13565-2:1996三阶矩分析法

5. GB/T 3505-2020数字滤波处理技术

检测设备

1. Taylor Hobson PGI 3D轮廓仪（分辨率0.8nm）

2. Mitutoyo Surftest SJ-410轮廓仪（行程150mm）

3. Zygo NewView9000激光干涉仪（20×物镜）

4. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪（垂直分辨率0.1nm）

5. Keyence VR-5000三维扫描系统（Z轴重复精度0.02μm）

6. Hommelwerke T8000RC粗糙度仪（16bit AD转换）

7. Mahr MarSurf LD260激光传感器（采样频率200kHz）

8. Alicona InfiniteFocus G5显微系统（20倍变焦镜头）

9. ZeGage Plus数字全息系统（100mm×100mm测量范围）

10. Optacom Formscan接触式探针仪（金刚石探针半径2μm）