检测项目
1.表面粗糙度Ra：测量范围0.01-25μm，表征轮廓算术平均偏差
2.微观不平度十点高度Rz：测量范围0.05-100μm
3.轮廓最大高度Rt：测量范围0.1-200μm
4.波纹度Wt：波长0.8-25mm范围内的周期性表面起伏
5.轮廓支承长度率Rmr(c)：在给定截距下的材料比曲线分析
检测范围
1.金属加工件：发动机缸体/曲轴/齿轮啮合面
2.工程塑料件：密封圈/轴承保持架/医疗器械外壳
3.陶瓷基材：半导体晶圆/光学镜片基板
4.复合材料：碳纤维增强构件/刹车片摩擦面
5.涂层表面：PVD镀层/DLC涂层/热障涂层
检测方法
1.触针式轮廓法：ASTME1155-20/GB/T3505-2021
2.光学干涉法：ISO25178-2:2022非接触三维测量
3.激光散射法：GB/T29558-2013表面散射特性分析
4.电子显微镜法：SEM二次电子成像表面形貌重建
5.白光共聚焦法：ISO25178-604:2013三维形貌测量
检测设备
1.TaylorHobsonPGI3D：分辨率0.8nm的三维轮廓仪
2.MitutoyoSurftestSJ-410：行程350mm的便携式粗糙度仪
3.BrukerContourGT-X8：白光干涉三维表面测量系统
4.ZeSmartW5：全自动激光共聚焦显微镜
5.OlympusLEXTOLS5000：120nm垂直分辨率的3D测量显微镜
6.Hommel-EtamicT8000：多传感器复合式表面测量系统
7.KeyenceVR-6000：非接触式高速三维扫描仪
8.MahrMarSurfLD260：大行程（260mm）粗糙度测量仪
9.AliconaInfiniteFocusG5：20nm分辨率的聚焦变化系统
10.JenoptikWaveline：符合ISO5436标准的校准基准件组