检测项目

1.密封性测试（压力范围：10⁻~10⁶Pa）

2.漏率定量分析（灵敏度：110⁻Pam/s）

3.真空系统保压测试（时长：4-72小时）

4.焊缝完整性评估（氦气浓度：5%~100%）

5.渗透率测定（温度范围：-196℃~300℃）

检测范围

1.真空设备（分子泵腔体、镀膜设备）

2.压力容器（储气罐、反应釜）

3.半导体组件（晶圆传输腔、刻蚀腔室）

4.制冷系统（压缩机管路、蒸发器）

5.航天部件（推进剂贮箱、舱体密封件）

检测方法

ASTME499-11(2021)真空模式氦检漏标准规程

ISO20486:2017泄漏测量系统校准规范

GB/T12604.7-2021无损检测术语泄漏检测

GB/T34632-2017真空技术氦质谱检漏方法

ASMEBPVCSectionVArticle10承压设备检漏标准

检测设备

1.INFICONUL1000Fab：四极杆质谱仪，最小可检漏率510⁻Pam/s

2.LeyboldPHOENIXL300i：集成自动校准模块，支持双通道检测

3.AgilentHLT570：便携式检漏仪，响应时间＜1秒

4.PfeifferASM340：磁偏转质谱技术，量程覆盖10⁻⁴~10⁻mbarl/s

5.EdwardsTIC系列：涡轮分子泵组，极限真空达510⁻⁸mbar

6.Varian979系列：双灯丝离子源设计，适应复杂工况

7.LACOMSF-21：内置质量流量计，支持正/负压测试模式

8.ShimadzuMSQ-TF20：高精度PID控制系统，温度波动0.5℃

9.CanonANELVAM-200QA：快速抽气系统（≤3分钟达到工作真空）

10.KurtJ.LeskerLD2000：模块化设计，兼容氦/氢混合示踪气体