检测项目
1.密封性测试（压力范围：10⁻~10⁶Pa）
2.漏率定量分析（灵敏度：110⁻Pam/s）
3.真空系统保压测试（时长：4-72小时）
4.焊缝完整性评估（氦气浓度：5%~100%）
5.渗透率测定（温度范围：-196℃~300℃）
检测范围
1.真空设备（分子泵腔体、镀膜设备）
2.压力容器（储气罐、反应釜）
3.半导体组件（晶圆传输腔、刻蚀腔室）
4.制冷系统（压缩机管路、蒸发器）
5.航天部件（推进剂贮箱、舱体密封件）
检测方法
ASTME499-11(2021)真空模式氦检漏标准规程
ISO20486:2017泄漏测量系统校准规范
GB/T12604.7-2021无损检测术语泄漏检测
GB/T34632-2017真空技术氦质谱检漏方法
ASMEBPVCSectionVArticle10承压设备检漏标准
检测设备
1.INFICONUL1000Fab：四极杆质谱仪，最小可检漏率510⁻Pam/s
2.LeyboldPHOENIXL300i：集成自动校准模块，支持双通道检测
3.AgilentHLT570：便携式检漏仪，响应时间＜1秒
4.PfeifferASM340：磁偏转质谱技术，量程覆盖10⁻⁴~10⁻mbarl/s
5.EdwardsTIC系列：涡轮分子泵组，极限真空达510⁻⁸mbar
6.Varian979系列：双灯丝离子源设计，适应复杂工况
7.LACOMSF-21：内置质量流量计，支持正/负压测试模式
8.ShimadzuMSQ-TF20：高精度PID控制系统，温度波动0.5℃
9.CanonANELVAM-200QA：快速抽气系统（≤3分钟达到工作真空）
10.KurtJ.LeskerLD2000：模块化设计，兼容氦/氢混合示踪气体