检测项目
1. 动态范围:测量范围±0.001~2000 rad/s,分辨率0.0001 rad/s
2. 线性度误差:全量程偏差≤0.05% FS(满量程)
3. 温度漂移:-40℃~85℃环境下输出变化≤0.005% FS/℃
4. 频率响应:带宽0~500 Hz(±3dB)
5. 交叉轴灵敏度:正交方向干扰≤0.2%
检测范围
1. MEMS陀螺仪:硅基微机电惯性传感器
2. 光纤陀螺仪:Sagnac效应干涉式角速度计
3. 伺服电机转子:永磁同步电机转轴角速度
4. 航空惯导系统:IMU组件三轴角速率测量
5. 工业机器人关节:RV减速器输出轴转速监测
检测方法
ASTM E2309-05:基于激光多普勒测速仪的旋转机械角速度校准方法
ISO 16063-21:振动与冲击传感器角速度校准规范
GB/T 30117-2013:光纤陀螺仪性能测试方法
GB/T 38890-2020:工业机器人关节动态特性测试规范
IEC 62047-21:MEMS陀螺仪环境适应性试验规程
检测设备
1. Polytec MSA-650激光多普勒测振仪:非接触式角振动测量(0.1μrad/s分辨率)
2. Keysight DSOX4034A示波器:100MHz带宽信号采集(16bit ADC)
3. Fluke 6105A转台校准系统:角速率精度±0.001°/s(0~300rpm)
4. NI PXIe-4499动态信号分析仪:24位同步采样(204.8kS/s)
5. Bruel&Kjaer 4524-B三轴振动台:角振动激励(±1000°/s²)
6. Renishaw XL-80激光干涉仪:线性/角度复合测量(±0.5ppm精度)
7. TE Connectivity M9105环境试验箱:温控范围-70℃~180℃
8. OROS OR38动态分析仪:128通道并行采集(25.6kHz带宽)