检测项目

1.波前畸变：PV值≤λ/4（λ=632.8nm），RMS≤λ/20
2.焦距误差：实测值与标称值偏差≤0.05mm
3.像面曲率半径：测量精度0.1mm（依据ISO9334）
4.透射率均匀性：可见光波段（400-700nm）波动≤1.5%
5.调制传递函数（MTF）：空间频率50lp/mm时对比度≥0.6

检测范围

1.相机镜头（含非球面镜组）
2.显微镜物镜（10至100油浸式）
3.激光扩束系统（准直精度≤5μrad）
4.投影光刻物镜（NA≥0.75）
5.红外热成像光学模组（8-14μm波段）

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件波前畸变测试
2.GB/T12085.4-2022光学系统环境试验方法
3.ASTME2175-01(2021)透射率光谱测量规程
4.ISO9336:2020光学传递函数测定法
5.GB/T7661-2009光学零件表面疵病检验

检测设备

1.ZYGO干涉仪VerifireHD：波前分析精度λ/1000
2.TriopticsMTF测量仪ImageMasterPro：空间频率分辨率200lp/mm
3.PerkinElmerLambda1050分光光度计：波长精度0.08nm
4.OptikosLensCheck自动焦度计：焦距测量重复性0.005mm
5.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：表面粗糙度Ra≤0.1nm
6.ThorlabsBP209-VIS/M光束分析仪：光斑直径测量误差1%
7.OphirSpiriconM2-200激光光束质量分析仪：M因子测量范围0.3-100
8.NikonNEXIVVM-5000非接触式三维测量仪：Z轴分辨率0.01μm
9.Agilent5500原子力显微镜：表面形貌扫描精度0.5nm
10.SCHOTTK8玻璃应力仪：双折射测量灵敏度0.1nm/cm