检测项目

1.厚度偏差：测量靶材整体厚度波动范围（0.05μm至5μm），采用多点扫描法评估均匀性。

2.表面粗糙度：Ra值控制在0.01-1.6μm区间内，Rz值不超过Ra值的6倍。

3.维氏硬度：测试载荷0.1-50kgf，对应HV0.1至HV50标尺。

4.抗拉强度：覆盖50-1500MPa范围，延伸率误差≤2%。

5.耐盐雾腐蚀：按NSS/AASS/CASS分级测试240-2000小时。

检测范围

1.金属溅射靶材：铜(Cu)、铝(Al)、钛(Ti)及其合金镀膜基材。

2.陶瓷靶材：氧化铝(Al₂O₃)、氮化硅(Si₃N₄)等高温烧结制品。

3.高分子聚合物靶材：聚四氟乙烯(PTFE)、聚酰亚胺(PI)薄膜材料。

4.半导体靶材：单晶硅(Si)、砷化镓(GaAs)晶圆级产品。

5.复合靶材：碳化钨(WC-Co)、碳纤维增强基体等异质结构材料。

检测方法

1.ASTMB568-18：采用X射线荧光法测定镀层厚度。

2.ISO4287:1997：轮廓仪法测定表面粗糙度参数Ra/Rz。

3.GB/T4340.1-2009：维氏硬度试验方法与设备校准规范。

4.ASTME8/E8M-21：金属材料室温拉伸试验标准流程。

5.GB/T10125-2021：人造气氛腐蚀试验盐雾箱操作规范。

检测设备

1.三丰SJ-410表面粗糙度仪：分辨率0.001μm，符合ISO4288标准。

2.赛默飞世尔iCAPRQICP-MS：元素分析精度达ppb级。

3.英斯特朗5982万能试验机：最大载荷100kN，支持高温夹具扩展。

4.奥林巴斯DSX1000数码显微镜：20-7000倍景深融合成像系统。

5.Q-LabQ-FOGCRH盐雾箱：支持循环腐蚀与湿度复合测试。

6.布鲁克D8ADVANCEXRD：θ/θ测角仪精度0.0001。

7.岛津HMV-G21ST显微硬度计：自动压痕测量重复性1%。

8.尼康MM-400测量显微镜：配备激光干涉定位系统。

9.牛津仪器X-MET8000手持XRF：现场快速成分筛查装置。

10.MTSCriterion45电子万能试验机：动态载荷控制精度0.5%。

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与靶面检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。