检测项目
1.表面粗糙度:Ra值0.01-25μm范围测量
2.平面度公差:≤0.001mm/m精度等级
3.波纹度波长:0.08-8mm周期性波动分析
4.曲率半径:R0.1-5000mm曲面轮廓拟合
5.微观凹陷深度:5μm级缺陷识别
检测范围
1.金属材料:铝合金压铸件/不锈钢精密冲压件
2.高分子材料:工程塑料注塑成型件
3.陶瓷材料:氧化锆基板/氮化硅轴承
4.复合材料:碳纤维层压板/玻璃钢构件
5.光学元件:非球面透镜/棱镜抛光面
检测方法
1.ISO4287:1997表面粗糙度轮廓法
2.ASTME177-14接触式测量标准
3.GB/T29531-2013平面度激光干涉法
4.ISO12181-1:2011圆度测量规范
5.GB/T6062-2009比对样块目视检验法
检测设备
1.MitutoyoSurftestSJ-410粗糙度仪(分辨率0.001μm)
2.TaylorHobsonTalyrond565圆度仪(径向精度0.025μm)
3.ZygoNewView9000白光干涉仪(垂直分辨率0.1nm)
4.KeyenceVR-5000三维轮廓扫描系统(最大扫描范围200200mm)
5.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜(12000光学放大)
6.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂(空间精度0.018mm)
7.JenoptikHommel-EtamicW55接触式探针(测力0.75mN)
8.BrukerContourGT-K光学轮廓仪(1秒快速成像)
9.ZeissPrismoUltra三坐标机(温度补偿0.1℃)
10.PanasonicHG-C1050激光位移传感器(采样频率392kHz)