检测项目

1.极限压力检测：测量机组在空载状态下达到的最低压力值（≤110⁻Pa）

2.抽气速率测试：评估单位时间内气体排出量（范围0.5-200m/h）

3.噪声水平测定：A计权声压级≤75dB(A)（距离机组1米处）

4.温升监控：连续运行4小时轴承温度≤85℃

5.密封性验证：氦质谱检漏仪测试泄漏率≤110⁻⁶Pam/s

检测范围

1.铝合金/铸铁泵体结构完整性

2.丁腈橡胶/氟橡胶密封件耐油性

3.ISOVG68/VG100真空泵油性能

4.不锈钢/陶瓷旋片耐磨性

5.电机绕组绝缘等级（F级/H级）

检测方法

ASTMD7282-21《真空泵性能测试规范》

ISO21360:2018《真空泵测试方法》

GB/T19956.1-2022《容积真空泵性能测量方法》

GB/T15487-2015《容积真空泵噪声测量》

GB/T13931-2020《电除尘器用整流设备试验方法》

检测设备

INFICONLDS3000氦质谱检漏仪（泄漏率测量）

LeyboldCTR90全量程真空计（10⁵~10⁻⁷Pa测量）

KeysightU1231A声级计（30-130dB精度1.5dB）

FlukeTiS75红外热像仪（-20~650℃温度监测）

SiemensS7-1200PLC测试系统（自动化控制与数据采集）

MalvernMastersizer3000粒度分析仪（润滑油颗粒污染度检测）

Instron5985万能材料试验机（旋片抗弯强度≥800MPa）

Agilent7890B气相色谱仪（润滑油热稳定性分析）

BrukerQ4TASMAN直读光谱仪（金属材料成分验证）

Endress+HauserProsonicFlow93超声波流量计（抽速测量精度0.5%）