检测项目
1.边缘尺寸偏差:测量实际宽度与标称值的差异(0.05mm)
2.倒角角度公差:控制450.5的加工精度
3.边缘直线度误差:允许最大偏移量≤0.02mm/100mm
4.表面粗糙度Ra值:要求Ra≤0.8μm的加工面质量
5.平行度误差:双窄边平行度≤0.03mm
检测范围
1.金属板材冲压件(厚度0.5-3mm)
2.塑料薄膜模切产品(PET/PC材质)
3.电子元件基板(FR4/Al₂O₃基材)
4.光学镜片磨边件(直径10-200mm)
5.半导体晶圆切割道(线宽50-200μm)
检测方法
1.ASTME2919-22:金属材料边缘几何量测量规范
2.ISO12180-2:2021:圆柱体部件边缘特性评定方法
3.GB/T11336-2021:直线度误差检测技术规范
4.ISO4287:2020:表面粗糙度轮廓法测量标准
5.GB/T1958-2017:产品几何量技术规范(GPS)验收标准
检测设备
1.MitutoyoQV-3020PRO影像测量仪(分辨率0.1μm)
2.KeyenceLJ-V7300激光测距传感器(精度1μm)
3.ZeissO-INSPECT543三坐标测量机(重复精度0.6μm)
4.TaylorHobsonFormTalysurfPGINOVUS轮廓仪(垂直分辨率0.8nm)
5.OlympusDSX1000数码显微镜(500倍光学放大)
6.HexagonAbsoluteARM7轴测量臂(空间精度15μm)
7.NikonNEXIVVMZ-S3020视频测量系统(双远心镜头)
8.StarrettSVR400电子比较仪(分辨率0.001mm)
9.RenishawXL-80激光干涉仪(线性精度0.5ppm)
10.OGPSmartScopeZIP250多传感器系统(Z轴重复性0.3μm)