检测项目

1.波前像差RMS值：测量范围λ/50至λ/2（λ=632.8nm），精度0.002λ

2.曲率半径偏差：检测精度0.01%，适用半径5mm-2000mm

3.表面粗糙度Ra值：分辨率0.1nm，量程0.5nm-10μm

4.面形误差PV值：动态范围λ/100至50λ（@632.8nm）

5.离焦量校准：轴向分辨率0.1μm，最大行程5mm

检测范围

1.高精度球面/非球面光学镜头（直径≤500mm）

2.激光谐振腔镜片（反射率＞99.9%）

3.显微物镜组（NA≥0.95）

4.天文望远镜主反射镜（面形精度λ/20）

5.光纤耦合器端面（曲率半径公差0.05mm）

检测方法

ASTME903-2012光谱透射率测量规范

ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷等级评定

GB/T2831-2009光学零件面形偏差检验方法

ISO14999-4:2015干涉法波前分析技术规程

GB/T7661-2009光学零件表面粗糙度测试方法

检测设备

ZygoVerifireMST激光干涉仪：波长632.8nm，PV重复性＜λ/1000

TaylorHobsonFormTalysurfi-Series轮廓仪：垂直分辨率0.1nm

MitutoyoCMM-CrystaApexS坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm

OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：横向分辨率120nm

NewportAC-2000自动准直仪：角度分辨率0.05arcsec

BrukerContourGT-K光学轮廓仪：Z轴重复性＜0.1nm

TriopticsOptiCentric双光路中心偏仪：偏心测量精度1μm

4DTechnologyPhaseCam6000动态干涉仪：振动容差＞10μm@50Hz

Keysight5500AFM原子力显微镜：Z轴噪声＜0.05nmRMS

HamamatsuC10910D条纹分析相机：帧率1000fps@10241024像素