检测项目
1.波前像差RMS值：测量范围λ/50至λ/2（λ=632.8nm），精度0.002λ
2.曲率半径偏差：检测精度0.01%，适用半径5mm-2000mm
3.表面粗糙度Ra值：分辨率0.1nm，量程0.5nm-10μm
4.面形误差PV值：动态范围λ/100至50λ（@632.8nm）
5.离焦量校准：轴向分辨率0.1μm，最大行程5mm
检测范围
1.高精度球面/非球面光学镜头（直径≤500mm）
2.激光谐振腔镜片（反射率＞99.9%）
3.显微物镜组（NA≥0.95）
4.天文望远镜主反射镜（面形精度λ/20）
5.光纤耦合器端面（曲率半径公差0.05mm）
检测方法
ASTME903-2012光谱透射率测量规范
ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷等级评定
GB/T2831-2009光学零件面形偏差检验方法
ISO14999-4:2015干涉法波前分析技术规程
GB/T7661-2009光学零件表面粗糙度测试方法
检测设备
ZygoVerifireMST激光干涉仪：波长632.8nm，PV重复性＜λ/1000
TaylorHobsonFormTalysurfi-Series轮廓仪：垂直分辨率0.1nm
MitutoyoCMM-CrystaApexS坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm
OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：横向分辨率120nm
NewportAC-2000自动准直仪：角度分辨率0.05arcsec
BrukerContourGT-K光学轮廓仪：Z轴重复性＜0.1nm
TriopticsOptiCentric双光路中心偏仪：偏心测量精度1μm
4DTechnologyPhaseCam6000动态干涉仪：振动容差＞10μm@50Hz
Keysight5500AFM原子力显微镜：Z轴噪声＜0.05nmRMS
HamamatsuC10910D条纹分析相机：帧率1000fps@10241024像素