检测项目
1.表面电荷密度：测量范围0.1-1000μC/m，精度2%
2.静电偏转角度：测试范围0-90，分辨率0.1
3.电场强度分布：空间分辨率≤1mm，量程0.1-100kV/m
4.电荷衰减时间：时间范围1ms-1000s，温度控制0.5℃
5.介电常数与电阻率：频率范围10Hz-1MHz，介电常数误差≤3%
检测范围
1.半导体晶圆及微电子封装材料
2.高分子薄膜（PET、PI、PTFE等）
3.光学镀膜器件（抗反射涂层、ITO导电玻璃）
4.工业防静电包装材料（ESD屏蔽袋、导电泡沫）
5.医疗器械用高分子部件（导管、传感器外壳）
检测方法
1.ASTMD257-14：绝缘材料直流电阻与电导率标准测试法
2.ISO3915:2021：塑料材料体积电阻率测定方法
3.GB/T1410-2006：固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法
4.IEC61340-2-1:2015：静电现象模拟与测量通用规范
5.GB/T16801-2013：织物静电性能评价方法
检测设备
1.TrekModel347静电计：高精度表面电位测量（0.05kV）
2.KeyenceST-H系列电场成像系统：二维电场分布可视化分析
3.MonroeElectronicsModel284E电荷衰减测试仪：符合MIL-STD-1686标准
4.AgilentE4980ALCR表：宽频介电性能测试（20Hz-2MHz）
5.Electro-TechSystemsModel803B摩擦起电机：可控摩擦电荷生成装置
6.MitsubishiChemicalSM-20表面电阻测试仪：量程10^3-10^14Ω/sq
7.SimcoIonFG500静电消除器校准装置：离子平衡度5V内验证
8.Keithley6517B静电计/高阻表：10aA电流分辨率测量能力
9.ThermoScientificCAMSIZERP4颗粒分析仪：粉末材料带电特性关联测试
10.OAIModel306ESD静电放电模拟器：接触放电电压30kV可调