检测项目
1.焦距偏差量:测量实际焦距与标称值差异(0.01mm~0.5mm)
2.轴向位移重复性:连续10次调焦位移标准差(≤1μm)
3.离焦量波动度:动态调焦过程中焦点偏移量(0.3μm@50Hz)
4.温度漂移系数:-20℃~60℃环境下的焦距变化率(≤0.002%/℃)
5.像面倾斜角:焦平面与基准面夹角误差(≤0.05)
6.MTF衰减梯度:调焦过程中的调制传递函数下降斜率(≤5%/mm)
检测范围
1.工业机器视觉镜头(500万像素以上)
2.医疗内窥镜光学系统(φ2mm~φ10mm)
3.激光加工头聚焦模块(1064nm/10.6μm波段)
4.天文望远镜调焦机构(行程≥50mm)
5.手机摄像模组VCM马达(行程0.5mm~5mm)
6.红外热成像镜头(8~14μm波段)
检测方法
ASTME3125-17:基于双频激光干涉的轴向位移测量规程
ISO9334:2012:光学系统焦深测定-刀口法
GB/T12009-2021:光学镜头焦距测量方法
ISO10110-5:2015:光学元件面形偏差与焦距关系评估
GB/T26333-2010:工业数码相机光学测量规范
ISO12233:2017:电子成像系统分辨率与离焦特性测试
检测设备
ZYGOVerifireHDX激光干涉仪:波长632.8nm,分辨率0.1nm
TRIOPTicsMTF测量站:支持f=5mm~2000mm镜头测试
KeyenceLT-9010M高精度测距仪:量程10mm,精度0.05μm
OptoEngineeringTC系列平行光管:口径Φ300mm,准直精度1"
NewportM-ILS250CC电动位移台:行程250mm,重复定位精度0.1μm
MitutoyoMF-U系列显微测头:放大倍率500X,景深3μm
JenoptikOMS6000光机系统分析仪:集成MTF/波前/焦距测量模块
ThermoScientificATS系列环境试验箱:温控精度0.1℃
SonyIMX535基准传感器:35mm全画幅,像素4.88μm
SchneiderKreuznachCinegon定标镜头:f=12mm,F1.4,畸变<0.05%