检测项目

1.焦距偏差量：测量实际焦距与标称值差异（0.01mm~0.5mm）

2.轴向位移重复性：连续10次调焦位移标准差（≤1μm）

3.离焦量波动度：动态调焦过程中焦点偏移量（0.3μm@50Hz）

4.温度漂移系数：-20℃~60℃环境下的焦距变化率（≤0.002%/℃）

5.像面倾斜角：焦平面与基准面夹角误差（≤0.05）

6.MTF衰减梯度：调焦过程中的调制传递函数下降斜率（≤5%/mm）

检测范围

1.工业机器视觉镜头（500万像素以上）

2.医疗内窥镜光学系统（φ2mm~φ10mm）

3.激光加工头聚焦模块（1064nm/10.6μm波段）

4.天文望远镜调焦机构（行程≥50mm）

5.手机摄像模组VCM马达（行程0.5mm~5mm）

6.红外热成像镜头（8~14μm波段）

检测方法

ASTME3125-17：基于双频激光干涉的轴向位移测量规程

ISO9334:2012：光学系统焦深测定-刀口法

GB/T12009-2021：光学镜头焦距测量方法

ISO10110-5:2015：光学元件面形偏差与焦距关系评估

GB/T26333-2010：工业数码相机光学测量规范

ISO12233:2017：电子成像系统分辨率与离焦特性测试

检测设备

ZYGOVerifireHDX激光干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm

TRIOPTicsMTF测量站：支持f=5mm~2000mm镜头测试

KeyenceLT-9010M高精度测距仪：量程10mm,精度0.05μm

OptoEngineeringTC系列平行光管：口径Φ300mm,准直精度1"

NewportM-ILS250CC电动位移台：行程250mm,重复定位精度0.1μm

MitutoyoMF-U系列显微测头：放大倍率500X,景深3μm

JenoptikOMS6000光机系统分析仪：集成MTF/波前/焦距测量模块

ThermoScientificATS系列环境试验箱：温控精度0.1℃

SonyIMX535基准传感器：35mm全画幅,像素4.88μm

SchneiderKreuznachCinegon定标镜头：f=12mm,F1.4,畸变<0.05%