检测项目
1.粒径分布:测量0.1μm至25μm范围内6个粒径通道的粒子浓度分布
2.计数效率:在(2.83~100)L/min流量下测试0.3μm标准粒子的捕获率
3.流量稳定性:连续监测30分钟流量波动值(≤5%)
4.误报率:使用NIST可溯源PSL粒子验证假阳性率(<0.01%)
5.响应时间:记录90%浓度变化所需时间(≤1秒)
检测范围
1.半导体洁净室用激光粒子计数器
2.制药行业无菌灌装线在线监测系统
3.生物安全实验室HEPA过滤器检漏仪
4.航空航天部件清洁度测试设备
5.医疗器械生产环境监控装置
检测方法
ISO21501-4:2018《光散射法气溶胶粒子计数器校准》
GB/T6167-2007《尘埃粒子计数器性能试验方法》
ASTMF328-98(2016)《空气粒子计数器校准标准规范》
JISB9921:2016《光散射式自动粒子计数器》
GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》附录C
检测设备
1.TSIAeroTrak9310型基准粒子计数器(0.1~5μm)
2.MetOne237B型远程激光传感器(28.3L/min)
3.LighthouseSolair3100型多通道分析仪(6粒径通道)
4.PMSLasairIII510型HEPA检漏专用计数器(0.3~10μm)
5.ClimetCI-754型高温高压校准装置(120℃/5bar)
6.Kanomax3889型超低浓度气溶胶发生器(10~10000P/L)
7.PalasPromo3000型精密稀释系统(1:10000稀释比)
8.TopasSAG-410型超声波雾化器(DEHS/DOP发生)
9.Fluke985型智能粒子计数模块(ISO14644兼容)
10.ParticleMeasuringSystemsFMS-100型在线监测系统(100点组网)