检测项目

1.真空度测量范围：110⁻⁵Pa至110Pa
2.零点漂移误差：≤0.5%FS/24h
3.线性度偏差：≤1.5%全量程
4.响应时间：≤3s（90%量程变化）
5.温度补偿精度：0.05%FS/℃（-20℃~80℃）

检测范围

1.半导体制造设备真空腔体
2.航天器推进系统真空管路
3.医用灭菌设备密封系统
4.高能物理实验真空装置
5.真空镀膜设备工艺腔室

检测方法

1.ASTME2971-16：静态膨胀法校准规程
2.ISO3567:2011：电离规比对测试方法
3.GB/T34873-2017：真空计动态特性测试规范
4.GB/T32210-2015：电容薄膜规校准技术标准
5.ISO1607-2:2020：旋转式真空泵性能测试

检测设备

1.INFICONSPT100：全自动校准系统（10⁻⁷~10Pa）
2.AgilentUHV-24：超高真空标准漏孔（110⁻⁰Pam/s）
3.LeyboldCTR90：涡轮分子泵组（极限压力510⁻⁸Pa）
4.MKS925B：电容薄膜规校准工作站（0.001~1000Torr）
5.PfeifferHPT200：氢渗透率测试仪（漏率分辨率110⁻mbarl/s）
6.EdwardsSTP-4503：四极质谱残余气体分析仪（1~100amu）
7.CanonANELVAMRG-1000：磁悬浮转子规标准装置（510⁻⁶~10Pa）
8.VarianUHV-24：电离规线性度测试平台（110⁻⁹~110⁻Torr）
9.KurtJ.LeskerKJLC360i：氦质谱检漏仪（灵敏度510⁻mbarl/s）
10.ShimadzuGCMS-QP2020NX：气体成分分析系统（ppb级分辨率）