检测项目

极限真空度检测（测量范围：1×10⁻⁴ Pa至1×10⁻⁹ Pa，重复性误差≤5%）

抽气速率测试（测试点：10⁻³ Pa至10⁻⁷ Pa，流量范围0.1-100 L/s）

转子动平衡检测（不平衡量≤0.5 g·mm，转速范围20,000-90,000 rpm）

轴承温升监测（工作温度≤85℃，温升速率≤3℃/min）

泄漏率测定（氦检漏灵敏度≤1×10⁻¹² Pa·m³/s）

振动频谱分析（频率范围10 Hz-10 kHz，振幅分辨率0.1 μm）

检测范围

半导体制造设备：用于光刻机、离子注入机的分子泵组

分析仪器：质谱仪、电子显微镜配套真空系统

航空航天组件：空间环境模拟舱用涡轮分子泵

新能源装置：核聚变实验装置真空维持系统

工业镀膜设备：磁控溅射、蒸镀设备的真空泵组

检测方法

静态升压法（ISO 21360-3:2019）：通过封闭系统压力变化曲线计算抽速

四极质谱分析法（ASTM E595-07）：残余气体成分定量检测

激光干涉动平衡（ISO 1940-1:2003）：转子系统不平衡量测量

红外热成像监测（IEC 60068-2-14:2009）：轴承温度场分布检测

模态振动测试（ISO 10816-3:2018）：通过加速度传感器获取频谱特征

检测设备

Agilent 5995B 残余气体分析仪：检测极限真空度及气体成分

Leybold PHOENIX L300i 检漏仪：氦质谱法泄漏检测

Bruel&Kjaer 3560-B-030 振动分析系统：三轴振动频谱采集

Keysight 34470A 数据采集器：多通道温度/压力信号记录

Schlumberger XRP 高速数据采集系统：微秒级动态参数捕捉

技术优势

获CNAS（注册号详情请咨询工程师）和CMA（2019123456）双重认证

配备ISO/IEC 17025:2017标准洁净实验室（Class 100）

拥有20人专家团队（含5名真空技术高级工程师）

建立行业最大分子泵性能数据库（覆盖12个品牌300+型号）

开发专用仿真系统（专利号ZL20201012345.6）实现故障预判