检测项目
1.消光比：测量正交偏振态透过率比值（≥40dB@633nm）
2.透射波前畸变：全口径RMS值≤λ/8（λ=632.8nm）
3.表面面形精度：PV值≤λ/10（Φ50mm有效孔径）
4.通光孔径均匀性：透射率偏差≤1.5%
5.温度稳定性：-40℃~+80℃环境下消光比变化≤3dB
检测范围
1.光学玻璃棱镜（BK7、熔融石英等）
2.晶体棱镜（方解石、YVO4、α-BBO等）
3.薄膜型偏振分束棱镜
4.激光系统用高功率偏振棱镜
5.微型化集成光学棱镜组件
检测方法
1.ASTME313-20《偏振光学元件特性测试规程》
2.ISO10110-5:2015《光学元件表面缺陷公差》
3.GB/T12085.6-2022《光学系统环境试验方法》
4.ISO14997:2012《光学表面缺陷检测方法》
5.GB/T26331-2010《光学薄膜元件光谱特性测试》
检测设备
1.ThorlabsPAX1000偏振分析仪（波长范围400-1700nm）
2.ZYGOVerifire干涉仪（精度λ/100PV）
3.AgilentCary7000分光光度计（光谱分辨率0.05nm）
4.Opto-ElectronicsPE3000消光比测试系统（动态范围60dB）
5.NewportAUTOSCAN精密旋转台（角分辨率0.001）
6.MitutoyoCMM三坐标测量机（空间精度0.8μm）
7.EspecSH-642恒温恒湿箱（温控0.5℃）
8.BrukerContourGT-K光学轮廓仪（垂直分辨率0.1nm）