检测项目
1.焦距偏差:标称值0.05mm内(λ=587.6nm)
2.像面曲率半径:≤0.5%相对误差
3.畸变率:全视场≤1.2%(TV畸变测试法)
4.透过率:可见光波段≥92%(镀膜质量评估)
5.波前像差:RMS值≤λ/4(@632.8nm)
检测范围
1.光学玻璃材质物镜(BK7/FK61等)
2.树脂模压非球面物镜
3.金属镀膜内反射式短焦镜头
4.红外硫系玻璃物镜(8-12μm波段)
5.复合型折衍射混合透镜组
检测方法
1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定
2.GB/T7661-2009光学零件焦距测量方法
3.ASTME1751-11光学系统调制传递函数测试
4.ISO9039:2008光学系统畸变测定规程
5.GB/T26331-2010光学薄膜光谱特性测试
检测设备
1.ZygoGPI-XP/D激光干涉仪:波前像差测量精度λ/100
2.MitutoyoMF-U系列测长仪:焦距测量分辨率0.1μm
3.TriopticsImageMasterProMTF测试系统:空间频率达300lp/mm
4.OptikosCGH全息干涉仪:非球面面形误差<0.05λPV
5.OceanInsightQEPro光谱仪:350-1100nm透过率测试
6.KeyenceVR-5000三维轮廓仪:表面粗糙度Ra<1nm
7.ThorlabsPAX1000偏轴偏振测试系统:应力双折射量测精度0.1nm/cm
8.OphirSpiriconM2-200激光光束分析仪:聚焦光斑直径测量误差0.5%