检测项目
表面粗糙度（Ra0.05-6.3μm/Rz0.4-25μm）
三维形貌偏差（Z轴分辨率0.1nm）
显微硬度梯度（HV0.01-HV50）
涂层结合强度（≥15MPa）
残余应力分布（2000MPa）
检测范围
金属材料：铝合金轧制件/不锈钢锻件/钛合金铸件
高分子材料：注塑成型件/挤出成型板材
陶瓷基复合材料：热障涂层/耐磨涂层
电子元器件：PCB焊点/芯片封装体
精密模具：注塑模腔/压铸模面
检测方法
白光干涉仪法（ISO25178-604）
纳米压痕法（ASTME2546）
X射线衍射法（GB/T7704）
激光共聚焦法（GB/T19600）
扫描电镜能谱联用（ISO22493）
检测设备
BrukerContourGT-K1三维光学轮廓仪（0.1nm纵向分辨率）
KeysightG200纳米压痕仪（0.1μN载荷精度）
OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜（12000:1动态范围）
Instron5967万能材料试验机（50kN载荷容量）
ThermoScientificARLEQUINOX3000X射线衍射仪（Cu靶Kα辐射）
ZeissSigma500场发射扫描电镜（1nm分辨率@15kV）
HexagonGlobalClassic07.10.07三坐标测量机（MPE≤1.5+L/350μm）
MitutoyoSJ-410粗糙度仪（16nmRa测量精度）
ShimadzuHMV-G21ST显微硬度计（10gf-2kgf载荷范围）
MalvernPanalyticalEmpyreanX射线应力分析仪（ψ角0-90可调）