检测项目

1.气体浓度测定：测量氩/氦/氖等主成分体积分数（≥99.999%），采用热导检测器(TCD)分析

2.露点温度检测：测定气体中水分含量（-80℃~+20℃），精度0.5℃

3.氧含量分析：痕量氧浓度检测（0.1ppm~1000ppm），电化学传感器法

4.总烃含量测试：C1-C6烃类化合物总量（≤0.5ppm），FID火焰离子化检测

5.颗粒物浓度：0.1-5μm粒径分布（≤100particles/m），激光粒子计数器

检测范围

1.电子级惰性气体：用于半导体制造的6N级高纯氩气

2.焊接保护气体：TIG/MIG焊接用氦氩混合气体

3.航空航天材料：钛合金热处理用超纯氩气系统

4.医疗设备气体：MRI超导磁体冷却用液氦气化监测

5.科研实验气体：同步辐射装置用99.9999%级氪气

检测方法

1.ASTME2603-15：气相色谱法测定惰性气体纯度

2.ISO19230:2020：质谱法分析稀有气体同位素组成

3.GB/T5832.3-2011：电解法测定气体中微量水分

4.ASTMD7649-19：傅里叶红外光谱法检测含氟杂质

5.GB/T8979-2008：化学发光法测定氮氧化物含量

检测设备

1.Agilent490MicroGC：微型气相色谱仪，配置TCD和FID双检测器

2.SiemensMaxumII色谱仪：模块化设计，支持多柱箱并联分析

3.MichellOptiPEAKTDL600：可调谐激光光谱仪，实时监测水氧含量

4.HORIBAVA-3000系列：真空分光分析系统，分辨率达0.01cm⁻

5.AMETEK5100EX氧分析仪：极限灵敏度0.01ppm氧浓度检测

6.TSI9306型粒子计数器：0.1μm粒径分辨能力，ISO21501校准

7.VICIValco气体采样系统：六通阀自动进样装置

8.INFICONHAPSITEER：便携式气质联用仪现场快速筛查

9.MKSMultiGas™2030FTIR：傅里叶变换红外光谱多组分分析

10.PANAMETERSMoistureImage2：高精度露点传感器（-100℃~+20℃）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与惰性气检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。