检测项目
1.温度均匀性：测量8个空间点位温差值（1.5℃）
2.压力稳定性：监测0-10MPa范围内波动幅度（≤0.5%FS）
3.密封性能：氦质谱检漏仪测试泄漏率（≤110⁻⁶Pam/s）
4.气流分布：激光多普勒测速仪分析流速偏差（5%）
5.材料耐腐蚀性：按GB/T10125-2021进行盐雾试验（480h）
检测范围
1.高分子材料密封圈（氟橡胶/硅橡胶/EPDM）
2.金属合金腔体（316L不锈钢/钛合金/哈氏合金）
3.制药行业冻干机混合室
4.半导体工艺真空反应腔
5.航天器环境模拟舱体
检测方法
ASTME84-21《建筑材料表面燃烧特性测试》
ISO14644-3:2019《洁净室及相关受控环境测试方法》
GB/T13350-2017《绝热用玻璃棉及其制品》
ASMEBPE-2022《生物加工设备标准》
IEC60068-2-14:2009《环境试验-温度变化试验》
检测设备
Agilent7890B气相色谱仪：VOC残留物分析（ppb级）
Fluke754过程校准器：压力/温度信号模拟（0.01级精度）
KeysightN5227B网络分析仪：射频屏蔽效能测试（10MHz-67GHz）
MTSC45.105液压试验机：结构件疲劳测试（200kN载荷）
VaisalaHMT337温湿度变送器：多点同步监测（0.8%RH）
ThermoScientificHeratherm烘箱：材料热老化试验（300℃恒温）
BrukerContourGT-X3光学轮廓仪：表面粗糙度测量（0.1nm分辨率）
SiemensSimaticS7-1500PLC：自动化控制系统验证测试