检测项目
1.平面度误差:测量范围0.001-0.05mm(依据ISO12180标准)
2.线性尺寸精度:公差等级IT0-IT4(GB/T1800.1规定)
3.表面粗糙度:Ra0.1-3.2μm(ISO4287参数体系)
4.维氏硬度:HV500-1200(ASTME384测试规范)
5.热膨胀系数:20-300℃范围内α值测定(GB/T4339方法)
检测范围
1.金属合金坐标卡:包括钨钢、高速钢等模具材料
2.工程塑料坐标卡:PEEK、PTFE等高分子材料制品
3.陶瓷基复合坐标卡:氧化锆/碳化硅复合材料构件
4.光学玻璃坐标卡:用于精密光学定位系统组件
5.半导体晶圆定位卡:硅基/砷化镓基半导体专用治具
检测方法
1.ISO10360-2:2021《坐标测量机的验收与复检》
2.GB/T1958-2017《产品几何量技术规范(GPS)形状和位置公差》
3.ASTMB89-20《精密金属板平面度测量标准》
4.ISO25178-2:2022《表面纹理:区域法》
5.GB/T4340.1-2009《金属材料维氏硬度试验》
检测设备
1.HexagonGlobalAdvantage三坐标测量机:测量精度0.6+L/400μm
2.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪:Ra测量范围0.01-50μm
3.ZwickRoellZHVμ显微硬度计:载荷范围10gf-10kgf
4.KeyenceLM-9000激光测微仪:分辨率0.01μm
5.MahrMillimar1318电子水平仪:精度0.001mm/m
6.NikonNEXIVVM-450影像测量系统:双远心光学系统
7.TesaMicro-Hite3D高度规:Z轴重复性0.15μm
8.BrukerContourGT-X3白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm
9]Instron5967万能材料试验机:载荷精度0.5%
10]FlukeTi450红外热像仪:热灵敏度≤0.03℃