检测项目

薄膜厚度测量：测量范围0.1-10μm，精度0.5%

沉积均匀性分析：横向分辨率≤1mm，偏差阈值5%

元素成分定量：能量色散X射线谱(EDS)分析元素含量误差≤1%

表面粗糙度测试：扫描面积55μm，Ra值分辨率0.1nm

膜层附着力评估：划格法测试符合ASTMD3359标准B级要求

检测范围

半导体器件：硅基/化合物半导体晶圆镀膜层

光学元件：增透膜/反射膜的TiO₂/SiO₂多层结构

金属防护层：航空铝合金表面Al₂O₃钝化膜

柔性电子材料：PET基板ITO透明导电膜

硬质涂层：刀具TiN/TiAlN耐磨镀层

检测方法

台阶轮廓法：ASTMF1946标准测量膜厚

X射线反射法：ISO14706:2014测定密度与界面特性

辉光放电光谱：GB/T22961-2008进行深度成分分析

原子力显微镜：ISO11039:2012评估三维表面形貌

纳米压痕测试：GB/T22458-2008测定膜层机械性能

检测设备

VeecoDektakXTL轮廓仪：垂直分辨率0.1的接触式厚度测量系统

BrukerD8AdvanceXRD：配备LynxEye探测器的晶体结构分析仪

ThermoScientificK-AlphaXPS：单色化AlKα光源的表面成分分析设备

ZeissSigma500SEM：场发射电镜搭配OxfordEDS能谱系统

Agilent5500AFM：非接触模式下的纳米级表面形貌扫描仪

ShimadzuEPMA-8050G电子探针：波长色散谱(WDS)定量分析系统

AntonPaarTTX-NHT纳米压痕仪：最大载荷500mN的力学性能测试平台

OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：12000光学放大率的3D表面分析系统

PerkinElmerLambda1050+紫外分光光度计：带积分球的光学特性测试装置

UlvacPHIQuantesEDX：大面积Mapping元素分布分析系统

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与真定蒸发淀积检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。