检测项目

花纹宽度测量：测量范围0.1-500μm，分辨率0.05μm

沟槽深度分析：最大量程200μm，重复精度≤0.3%FS

间距均匀性评估：采用FFT算法计算周期偏差值

三维形貌重构：Z轴分辨率10nm，采样率1000点/秒

表面粗糙度测试：Ra/Rz参数测量符合ISO4287:1997

检测范围

冷轧不锈钢板压花表面（JISSUS304/430）

注塑成型塑料件仿皮革纹理（ABS/PC复合材料）

陶瓷釉面浮雕装饰层（烧成温度1280℃20℃）

汽车内饰IMD膜片（PET基材厚度0.5-1.2mm）

精密模具蚀刻纹路（硬度HRC58-62）

检测方法

白光干涉法：依据ISO25178-604:2013进行三维形貌重建

激光共聚焦法：执行GB/T33523-2017亚微米级深度测量

接触式轮廓术：按ASTME1817-08测定二维截面参数

数字图像相关法：采用DIC技术进行应变场分析（ISO22007-4:2017）

显微硬度测试：参照GB/T4340.1-2009评估纹理区域力学性能

检测设备

ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，最大扫描面积100100mm

KeyenceVK-X3000激光显微镜：405nm波长激光源，12000光学放大

TaylorHobsonFormTalysurfi120轮廓仪：16nm径向分辨率，150mm行程

OlympusDSX1000数码显微镜：20-7000连续变倍，景深合成功能

BrukerContourGT-K光学轮廓仪：1μm~10mm多量程自动切换模块

MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：16金刚石测针，评估长度5mm

Instron5848微力试验机：0.05N~500N载荷范围，摩擦磨损测试模块

CarlZeissAxioImagerM2m金相显微镜：微分干涉对比（DIC）功能

NikonNEXIVVM-300影像测量系统：双远心镜头1μm测量精度

ShimadzuHMV-G21显微硬度计：10gf~2kgf试验力符合ISO6507标准