检测项目

微流量精度检测：测量范围0.1-100 mL/min，精度要求±0.5%FS

压力稳定性测试：工作压力0.1-1 MPa，波动率≤0.1%FS/min

泄漏率检测：泄漏阈值≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s（氦气质谱法）

响应时间分析：阶跃信号下全量程响应时间≤10 ms

温度适应性验证：-20℃至80℃环境下参数漂移≤0.2%/℃

检测范围

金属微孔元件：烧结金属滤芯、微孔喷嘴等

高分子膜材：透气膜、微流控芯片基材

精密阀门：电磁阀、压电阀

医疗导管：呼吸管路、微创介入器械

微传感器：MEMS压力传感器、流量传感器

检测方法

ASTM F328-98：微流量精度与重复性测试标准

ISO 29462:2018：气动元件泄漏率检测方法

GB/T 34525-2017：气动元件耐压与爆破试验规范

ISO 19973-2:2021：气动元件寿命与可靠性评估

GB/T 14513.1-2017：气动系统压力特性测试通则

检测设备

Keyence FD-X系列高精度流量计：分辨率0.01 mL/min，集成温度补偿功能

INFICON EC300氦质谱检漏仪：灵敏度1×10⁻¹² Pa·m³/s

SMC PFM710微压差传感器：量程±5 kPa，精度±0.1%FS

NI PXIe-4132高速数据采集系统：采样率1 MS/s，16位分辨率

Weiss Technik THK 600环境试验箱：温控范围-40℃至150℃，波动±0.5℃