检测项目
1.表面粗糙度分析:Ra0.01-10μm范围测量,Sa/Sq三维参数计算
2.纹理深度检测:垂直方向测量精度0.05μm
3.反射率分布图谱:波长范围380-2500nm,角度分辨率0.1
4.微观缺陷识别:最小检出尺寸5μm5μm
5.三维形貌重建:Z轴分辨率0.02μm@20物镜
检测范围
1.金属材料:汽车零部件表面处理层、精密模具型腔
2.高分子材料:光学级PC/PMMA导光板微结构
3.陶瓷及玻璃:手机盖板AG/AR镀膜层
4.纺织品:功能性纤维截面形态分析
5.光学薄膜:OLED显示模组多层膜堆叠结构
检测方法
1.ASTME2544-11a表面纹理光学显微分析法
2.ISO25178-2:2022三维表面纹理测量规范
3.GB/T3505-2021产品几何技术规范表面结构轮廓法
4.ISO4287:1997触针式表面粗糙度测量法
5.GB/T10610-2009产品几何量技术规范表面结构比较样块
检测设备
1.BrukerContourGT-X3三维光学轮廓仪:1200万像素CMOS,垂直分辨率0.01nm
2.KeyenceVR-6000共聚焦显微镜:405nm激光光源,XY重复精度0.1μm
3.ZeissAxioCSM700白光干涉仪:最大视场20mm20mm
4.OlympusLEXTOLS5000激光扫描显微镜:120nm横向分辨率
5.MitutoyoSJ-411表面粗糙度仪:16μm半径金刚石探针
6.NikonNEXIVVM-300影像测量系统:双远心光学系统
7.ShimadzuSSX-550扫描电镜:3nm分辨率@15kV
8.HexagonLeitzPMM-CInfinity三坐标机:MPEE=1.8+L/350μm
9.PanasonicVHX-7000数字显微镜:4KHDR成像系统
10.ZygoNewView9000干涉显微镜:相位测量精度λ/1000