检测项目

1.顶点焦距偏差：测量范围50mm，精度0.05mm（依据ISO9334）
2.曲率半径误差：分辨率0.1μm（GB/T7661-2009）
3.面形精度PV值：检测阈值λ/20（λ=632.8nm）
4.中心厚度公差：测量精度2μm（ASTME2175-01）
5.光轴偏移量：最大允许偏差3'（ISO10110-6）

检测范围

1.工业相机光学镜头（含非球面/复眼透镜）
2.激光切割机聚焦透镜（CO2/YAG激光系统）
3.显微镜物镜组（10X-100X油浸物镜）
4.光纤通信准直器（单模/多模陶瓷插芯）
5.投影光刻机F-Theta镜头（紫外波段）

检测方法

1.激光干涉法：依据ISO9334采用ZygoGPI-XP干涉仪
2.自准直仪法：执行GB/T7661-2009第5.3条款
3.刀口阴影法：适用于大口径抛物面镜（D≥500mm）
4.白光共焦法：按ASTME2665测量多层镀膜元件
5.数字全息术：满足ISO/TR14999-3相位测量要求

检测设备

1.ZYGOVerifireHDX：波长632.8nm，PV重复性λ/100
2.TriopticsOptiCentricAC4500：焦距测量范围5-450mm
3.MitutoyoUA3P-300：三维轮廓仪，Z轴分辨率1nm
4.TaylorHobsonPGIOptics：非接触式面形测量系统
5.NikonNEXIVVM-300S：视频测量仪（带激光辅助对焦）
6.FisbaμPhase干涉仪：Φ150mm口径Fizeau系统
7.OlympusOLS5000：激光共聚焦显微镜（1200X）
8.Keysight5530动态校准仪：线性精度0.02μm/m
9.OptikosLensCheckPro：MTF与焦距同步测试平台
10.BrukerContourGT-K1：白光干涉三维形貌仪