检测项目
1.镜面反射率:测量250-2500nm波长范围内的全波段反射率(精度0.5%)
2.表面粗糙度:Ra≤0.1μm的超光滑表面形貌分析(扫描面积1010mm)
3.透射波前畸变:λ/20@632.8nm的激光干涉精度
4.膜层厚度:0.1-500μm范围的磁控溅射/蒸镀膜厚测量(误差1nm)
5.耐环境性能:85℃/85%RH湿热试验500小时后的反射率衰减值
6.光谱选择性:太阳吸收比(α≥0.95)与红外发射比(ε≤0.05)同步测试
检测范围
1.金属材料:铝/银/金反射镜基材(厚度0.5-5mm)
2.光学玻璃:BK7/K9石英基底(直径≤500mm)
3.陶瓷涂层:氮化钛/碳化硅耐磨镀层(厚度50-200nm)
4.高分子材料:PET/PC光学薄膜(厚度0.05-1mm)
5.复合材料:ITO导电玻璃(方阻5-100Ω/□)
检测方法
ASTME430-22《镜面光泽度标准测试方法》
ISO13696:2022《光学元件总散射光测量》
GB/T11168-2021《光学零件表面疵病检验方法》
GB/T26331-2010《光学薄膜元件环境试验方法》
ISO9211-4:2023《光学镀膜耐久性测试规范》
检测设备
PerkinElmerLambda1050+紫外可见近红外分光光度计(波长范围175-3300nm)
ZygoNewView9000白光干涉表面轮廓仪(垂直分辨率0.1nm)
TRIOPTicsOptiFlat激光平面干涉仪(测量口径Φ300mm)
BrukerDektakXT台阶仪(探针力0.03-15mg可调)
OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜(12000超分辨成像)
Agilent5500原子力显微镜(接触/非接触双模式)
ThermoScientificNicoletiS50傅里叶红外光谱仪(中远红外分析)
LabsphereCAS140D成像色度分析系统(CIELab色彩空间建模)