检测项目

1.MTF(调制传递函数)曲线测量:空间频率范围0-200lp/mm,对比度阈值≥30%

2.离焦量测定:轴向位移精度0.05mm,焦平面偏移容差≤5μm

3.像散量分析:子午/弧矢焦面分离度≤0.03λ(λ=632.8nm)

4.波前像差检测:Zernike系数Z4-Z11阶次分析,RMS值≤λ/14

5.景深范围验证:弥散斑直径≤0.03mm时的轴向移动距离

检测范围

1.光学镜头:手机摄像模组、安防监控镜头、医用内窥镜

2.显示器件:OLED/LCD显示屏、AR/VR光学模组

3.精密仪器:激光切割头、光谱仪光路系统

4.工业相机:面阵/线阵CCD/CMOS成像组件

5.光学镀膜:抗反射膜层透过率均匀性≥99.5%

检测方法

1.ISO9334:2012《光学系统MTF测试的通用程序》

2.ASTME2175-01(2021)《激光光束质量M因子测量》

3.GB/T9246-2008《显微镜物镜成像质量检验方法》

4.ISO10110-5:2015《光学元件表面缺陷公差》

5.GB/T26332-2010《数码照相机光电参数测试方法》

检测设备

1.TriopticsImageMasterHRPro:MTF测试精度1%,最大支持φ120mm通光孔径

2.ZYGOVerifire™HDX激光干涉仪:波长632.8nm,PV值测量精度λ/100

3.OptikosCORE™成像分析系统:支持PSF/MTF/LSF同步测量

4.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜:横向分辨率0.12μm

5.ThorlabsBP209-VIS/M光束分析仪:光谱范围400-1100nm

6.KEYENCEVHX-7000数字显微镜:5000万像素超景深成像

7.EdmundOpticsMTF对比度测试卡:符合ISO12233标准

8.SCHOTTAG温度控制平台:温控精度0.1℃,振动抑制≤2μm/s

9.OphirSpiriconSP928光束质量分析仪:M因子测量误差≤3%

10.MitutoyoMF-U系列高精度位移台:重复定位精度0.1μm