检测项目

极限真空度：测量系统在稳定状态下达到的最低压力值（110⁻⁴Pa至110⁻⁷Pa）

泄漏率测试：量化单位时间内气体渗透量（≤110⁻⁹Pam/s）

压力稳定性：监测系统在设定时间内的压力波动范围（5%基准值）

抽气速率分析：记录系统从常压降至目标真空度的耗时（30-600秒）

残余气体成分：通过质谱仪识别残留气体种类及占比（H₂O≤50%、N₂≤30%、O₂≤15%）

检测范围

金属密封件：包括法兰接口、阀门组件及真空腔体焊接部位

高分子材料：硅胶密封圈、氟橡胶垫片及聚酰亚胺薄膜

电子元器件：真空继电器、X射线管及高功率激光器封装

真空包装材料：铝塑复合膜、镀氧化硅PET薄膜及药品西林瓶

光学镀膜材料：望远镜镜片镀膜层、光刻机反射镜组件

检测方法

ASTME493-22：质谱仪示踪气体法测定系统泄漏率

ISO3529-3:2021：真空技术术语与残余气体分析方法

GB/T3163-2022：真空技术通用检测规范

GB/T6070-2021：真空泵性能测试方法

ISO21360-3:2019：低温泵抽速测量标准流程

检测设备

AgilentVS系列氦质谱检漏仪（VS-SD/SF）：灵敏度达510⁻Pam/s的微量泄漏检测

EdwardsSTP系列涡旋干泵（STP-603/803）：实现无油环境下的快速抽真空（10⁻Pa级）

INFICONECOTECE3000：集成四极质谱的残余气体分析系统

LeyboldPHOENIX系列复合分子泵（PH300/450）：超高真空环境构建（极限压力510⁻⁸Pa）

MKS925系列电容薄膜规（925C/925D）：宽量程压力测量（110⁻⁴Torr至1000Torr）

PfeifferVacuumHLT260检漏仪：双通道氦气检漏系统（最小可检漏率110⁻mbarl/s）

KurtJ.LeskerATS系列自动测试台：集成多通道数据采集的智能控制系统

CanonANELVAMRG-1000残余气体分析仪：磁场偏转式高分辨质谱仪

ULVACDTC-21数字式热传导规：低真空段压力监测（1Pa至大气压）

SierraInstrumentsSmartTrak100系列质量流量计：实时监控抽气流量（0.5SCCM至500SLPM）