检测项目

1.温度均匀性测试：工作区9点测温法（2℃/800℃）

2.升温速率验证：0-1200℃区间最大升温速率≥15℃/min

3.气氛氧含量控制：氮氢混合气氛氧分压≤10ppm

4.热效率测定：综合热效率≥65%（GB/T13338标准）

5.密封性测试：炉膛泄漏率≤0.05m/h（正压0.5kPa）

检测范围

1.金属合金热处理（钛合金、高温合金）

2.陶瓷材料烧结（氧化铝、碳化硅）

3.半导体晶圆退火炉

4.粉末冶金烧结设备

5.真空钎焊炉系统

检测方法

1.ASTME2209-08热处理炉温度均匀性测试规范

2.ISO26309:2018工业炉热平衡测定方法

3.GB/T10066.4-2018电热装置试验方法第4部分：间接电阻炉

4.ASTME207-21热电偶校准标准方法

5.GB/T30825-2014热处理温度测量系统校准规范

检测设备

1.Fluke2680A数据采集仪（16通道0.05%精度）

2.ThermoScientificK型铠装热电偶（0-1300℃1℃）

3.ServomexXentra4900气体分析仪（氧含量0-100ppm分辨率）

4.HIOKILR8410热流计（量程0-200kW/m）

5.Agilent34972A温度巡检仪（同步采集20点温度数据）

6.TESTO480多功能测量仪（压力/流量综合测试）

7.KeysightU1253B高精度万用表（电阻测量0.002%）

8.AmetekJOFRARTC-700干式温度校验炉（-40~1200℃）

9.Bruel&Kjaer2255声级计（噪声测试30-130dB）

10.ShimadzuEDX-8000元素分析仪（气氛成分定量分析）