检测项目

1.氮气纯度：≥99.999%（体积分数），采用气相色谱法测定。

2.氧含量：≤5ppm（体积分数），电化学传感器法或激光吸收光谱法。

3.水分含量：≤3ppm（露点≤-70℃），冷镜式露点仪或电容式湿度传感器。

4.颗粒物浓度：≥0.3μm颗粒≤100个/m，激光粒子计数器测定。

5.金属离子残留：Fe≤0.1mg/kg，Cu≤0.05mg/kg，ICP-MS法分析。

6.总烃含量：≤1ppm（甲烷当量），FID气相色谱法检测。

检测范围

1.工业级高纯氮气（99.9%-99.999%）。

2.金属热处理用液氮（淬火/退火工艺介质）。

3.电子行业晶圆封装保护气体。

4.医药冷链运输用低温液氮容器。

5.食品级氮气添加剂（包装充氮防腐）。

6.实验室超低温研究用液氮样品。

检测方法

1.ASTMD1137-19：气体纯度测试标准流程。

2.ISO8573-1:2010：压缩空气污染物分级规范。

3.GB/T8979-2021：工业用氮国家标准。

4.ASTME260-96(2019)：气相色谱通用分析方法。

5.GB/T5832.2-2016：微量水分测定电解法。

6.ISO14644-1:2015：洁净室颗粒物分级标准。

检测设备

1.Agilent7890B气相色谱仪：用于纯度及总烃分析。

2.SystechIllinois8000微量氧分析仪：分辨率0.01ppm。

3.MichellS8000冷镜式露点仪：测量范围-100~+20℃。

4.TSI9306激光粒子计数器：支持0.3~10μm颗粒检测。

5.PerkinElmerNexION350DICP-MS：金属离子痕量分析。

6.GEDruckDPI620压力校验仪：管路密封性测试。

7.HoribaVA-3000粘度计：低温流体特性分析。

8.BrukerALPHAIIFTIR光谱仪：有机物污染鉴定。

9.MettlerToledoXPR205DR微量天平：称量精度0.01mg。

10.Fluke754过程校准器：传感器标定与验证。