检测项目
1.纹型深度测量:0.1μm-500μm量程范围,分辨率0.01μm
2.纹型间距分析:最小可测间距5μm,重复性误差≤1.5%
3.表面粗糙度Ra值:测量范围0.01-10μm,符合ISO4287标准
4.三维形貌重建:Z轴分辨率0.05μm,扫描面积2020mm
5.角度偏差检测:测量精度0.1,适用0-180范围
检测范围
1.金属材料:发动机缸体珩磨纹、轧制钢板表面织构
2.塑料制品:注塑成型流痕、模压防滑纹理
3.陶瓷基板:微电路印刷导带表面形貌
4.复合材料:碳纤维编织层界面特征
5.光学元件:衍射光栅周期结构测量
检测方法
ASTMD4417-2021《表面轮廓测量标准试验方法》
ISO25178-2:2022《产品几何技术规范(GPS)-表面纹理:区域法》
GB/T3505-2020《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语》
ISO13565-3:2000《几何产品规范(GPS)-表面结构:轮廓法》
GB/T9277-2008《色漆和清漆划痕试验》
检测设备
1.MitutoyoSurftestSJ-410轮廓仪:最大行程350mm,配备高精度电感式传感器
2.KeyenceVR-5000三维形貌测量系统:采用白光干涉技术,Z轴分辨率0.1nm
3.OlympusDSX1000数码显微镜:20-7000倍连续变倍,三维拼接功能
4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪:垂直分辨率0.1nm,支持ISO25178全参数分析
5.ZeissAxioCSM700共聚焦显微镜:405nm激光光源,横向分辨率120nm
6.TaylorHobsonFormTalysurfi系列:配备120mm量程传感器,符合ISO3274标准
7.NikonNEXIVVMZ-S3020视频测量系统:配备15:1变倍镜头,重复精度1μm
8.AliconaInfiniteFocusG5焦点变化系统:垂直分辨率10nm,最大测量高度30mm
9.JenoptikWaveline干涉仪:波长632.8nm氦氖激光源,PV值测量精度λ/100
10.ZygoNewView9000白光干涉仪:100物镜NA值0.95,扫描速度15μm/s