检测项目
1.表面电阻率测定:测量范围110~110⁶Ω/sq,精度5%
2.体积电阻率分析:覆盖110⁻⁶~110⁴Ωcm量程
3.介电常数与损耗角正切:频率范围20Hz-1MHz
4.载流子浓度测试:灵敏度110⁰~110⁰cm⁻
5.击穿场强测试:电压范围0-100kVDC/AC
检测范围
1.半导体材料:硅晶圆、GaN衬底、碳化硅基板
2.高分子绝缘材料:聚酰亚胺薄膜、环氧树脂复合材料
3.功能涂层:ITO导电膜、防静电涂料层
4.电子元器件:电容器介质层、PCB基材
5.新能源材料:锂电隔膜、光伏背板封装材料
检测方法
ASTMD257-14:绝缘材料直流电阻测试标准
IEC62631-3-1:2016:介电性能高频测量规范
GB/T1410-2006:固体绝缘材料体积电阻率试验方法
ISO1853:2018:导电橡胶电阻率测定标准
GB/T1692-2008:硫化橡胶绝缘电阻率试验规程
检测设备
KeysightB1505A功率器件分析仪:支持2000V/1500A高压大电流测试
Agilent4294A精密阻抗分析仪:40Hz-110MHz宽频介电特性测量
TrekModel152-1高压电源:20kV直流稳压输出
Keithley6517B静电计:10aA~20mA超微电流测量
HIOKIIM3570阻抗分析仪:4Hz-5MHz频率扫描功能
ESPECPCT-322气候箱:温度范围-70℃~180℃环境模拟
Mitsubishi化学分析型四探针仪:薄膜材料面电阻测量精度0.5%
LabthinkTSY-T1透湿性测试仪:同步测定材料电气与阻隔性能