可送检的样品类型与对应检测项目
| 样品类型 | 典型应用场景 | 主要检测项目 | 常用方法 / 参考 |
|---|---|---|---|
| 光学晶体与窗口材料（LiF、MgF2、CaF2、石英） | 同步辐射光束线、真空紫外探测器窗口、深紫外光路透过元件的来料验收与批次抽检 | VUV透射光谱、截止波长、吸收系数、透过均匀性 | 真空紫外单色仪透射法；GB/T 26798-2011《单光束紫外可见分光光度计》配套仪器要求 |
| VUV反射膜与镀膜元件（Al+MgF2膜、介质反射镜） | 同步辐射与等离子体诊断光路反射镜、光刻机照明系统元件的性能验收 | VUV反射率、变角反射特性、截止深度、膜层均匀性 | 真空紫外反射计法（入射角10°~85°可调）；水杨酸钠荧光转换探测 |
| 半导体光刻与掩模薄膜材料 | 深紫外与真空紫外光刻工艺开发中光刻胶、掩模吸收层的曝光波长光学评价 | VUV/DUV吸收系数、曝光波段透射率、光学常数 | 真空紫外透射谱法；椭圆偏振光谱辅助解析光学常数 |
| 固体表面与功能薄膜（宽带隙半导体、催化剂、有机电子材料） | 价带电子结构、表面功函数与能带排列的科研表征 | 价带谱、结合能分布、功函数、表面态密度 | GB/T 41072-2021《表面化学分析 电子能谱 紫外光电子能谱分析指南》，HeI/HeII激发 |
| 化学试剂与溶液 | 试剂纯度分析、紫外截止波长与摩尔吸光系数测定 | 吸收曲线、透光率、吸光度读数范围适宜性 | GB/T 9721-2006《化学试剂 分子吸收分光光度法通则（紫外和可见光部分）》 |
| 紫外可见分光光度计整机（单光束、双光束） | 仪器出厂验收、安装确认与实验室期间核查 | 波长准确度、透射比准确度、杂散光、基线平直度、噪声与稳定性 | JJG 178-2007《紫外、可见、近红外分光光度计》检定规程；GB/T 26813-2011《双光束紫外可见分光光度计》 |
检测项目
1. VUV透射比：波段115～200nm，测量不确定度不大于1%，截止波长判定覆盖LiF约105nm、MgF2约112nm、石英约160nm三档窗口材料
2. VUV反射率：入射角10°～85°可调，测量重复性不大于0.5%，Al+MgF2反射膜在175nm处反射率典型值不低于85%
3. 紫外光电子能谱：HeI 21.2eV／HeII 40.8eV双线激发，结合能分辨率不大于0.1eV，功函数测量误差不大于0.05eV
4. 波长准确度与重复性：示值误差不超过±0.3nm，重复性不大于0.2nm，按氧化钬滤光片特征峰核验
5. 杂散光与基线：杂散光比不大于1×10⁻⁴，基线平直度±0.001A，透射比准确度±0.5%
检测范围
1. 光学晶体与窗口材料：氟化锂、氟化镁、氟化钙、JGS1/JGS2石英玻璃等
2. VUV反射膜与镀膜元件：铝加氟化镁保护膜反射镜、多层介质膜反射镜、光栅元件等
3. 半导体光刻与掩模材料：深紫外及真空紫外波段光刻胶、掩模吸收层、相移膜等
4. 宽带隙半导体与功能薄膜：二氧化钛、氧化锌、氮化铝薄膜及催化表面等
5. 化学试剂与纯物质：紫外截止型试剂、标准溶液、摩尔吸光系数基准物质等
检测方法
1. GB/T 41072-2021 表面化学分析 电子能谱 紫外光电子能谱分析指南
2. GB/T 26798-2011 单光束紫外可见分光光度计
3. GB/T 26813-2011 双光束紫外可见分光光度计
4. GB/T 9721-2006 化学试剂 分子吸收分光光度法通则（紫外和可见光部分）
5. JJG 178-2007 紫外、可见、近红外分光光度计检定规程
6. GB/T 3163-2024 真空技术 术语（真空环境与测试条件表述依据）
检测设备
1. 真空紫外单色仪（1米焦距凹面光栅型）：波段115～500nm，光谱分辨率0.05nm
2. 高功率氘灯光源（200W，MgF2窗口）：输出波段115～400nm，光通量稳定性优于0.5%/h
3. 紫外光电子能谱仪（HeI/HeII双放电灯）：光子能量21.2/40.8eV，能量分析器分辨率不大于5meV
4. 双光束紫外可见分光光度计（双单色器型）：波段185～900nm，波长准确度±0.3nm，光谱带宽0.1～5nm可调
5. 真空样品腔（分子泵机组）：极限真空5×10⁻⁴Pa，配置四维样品调节架
6. 水杨酸钠荧光转换探测器（涂层光电倍增管组件）：VUV至可见光转换，响应波段115～340nm
7. 硅光电二极管标准探测器（AXUV型）：响应115～1100nm，量值可溯源至国家JianCe标准装置
8. 氧化钬标准滤光片（波长校准件）：特征峰241.5/279.2/287.5/333.7nm等，符合JJG 178-2007要求
9. 双通道锁相放大器：频率范围1mHz～102kHz，最小可测信号nV量级
10. 热阴极电离真空计：测量范围1×10⁻⁵～1×10²Pa，用于样品腔真空度监测