检测项目

平面度偏差：测量范围±0.1-500μm，分辨率0.01μm

表面粗糙度（Ra/Rz）：Ra 0.025-12.5μm，Rz 0.1-100μm

波纹度（Wt）：波长0.08-8mm，幅值0.1-100μm

曲率半径偏差：测量精度±0.5%，范围1-5000mm

局部凹陷/凸起：最小识别尺寸10μm×10μm

检测范围

金属材料：铝合金板/钛合金锻件/不锈钢精密件

复合材料：碳纤维层压板/陶瓷基复合材料

光学元件：透镜/反射镜/棱镜表面

电子元件：晶圆/PCB基板/封装外壳

塑料制品：注塑件/薄膜材料/3D打印件

检测方法

接触式测量：ISO 3274:1997轮廓法测量系统

白光干涉法：ASTM E2847-14非接触三维形貌分析

激光扫描法：GB/T 29557-2013表面波纹度评定

相位测量偏折术：ISO 25178-604光学平面度检测

数字图像相关法：GB/T 38897-2020全场变形测量

检测设备

Taylor Hobson PGI 3D轮廓仪：三维形貌重建精度±3nm

Mitutoyo Surftest SJ-410粗糙度仪：Ra分辨率0.001μm

Zygo NewView9000干涉仪：垂直分辨率0.1nm@20×物镜

Keyence VR-5000三维扫描系统：最大扫描范围500×500mm²

Alicona InfiniteFocus G5光学测量仪：轴向分辨率10nm@20×镜头