检测项目

1.光栅常数测量：精度0.1nm，测量范围200-2400线/mm

2.衍射效率测试：波长覆盖200-2000nm，角度分辨率0.01

3.表面粗糙度分析：Ra≤0.5nm（11μm区域）

4.温度稳定性验证：-50℃至+150℃循环测试

5.抗损伤阈值测定：激光功率密度≥5J/cm（1064nm,10ns）

检测范围

1.石英晶体光栅：用于紫外至近红外光谱仪核心部件

2.半导体材料光栅：包括硅基、砷化镓基太赫兹器件

3.金属镀膜光栅：金/铝膜层闪耀光栅（5-50nm膜厚）

4.聚合物基光栅：PMMA/PC材质的柔性衍射元件

5.特种玻璃光栅：硼硅酸盐玻璃制成的耐高温元件

检测方法

ASTME903-12：采用积分球光谱法测定绝对衍射效率

ISO10110-8：光学元件表面缺陷的数字化评价方法

GB/T13323-2009：基于单色仪的光栅波长精度测试规范

ISO14978:2018：几何量测量设备的通用鉴定规程

GB/T25968-2010：分光光度法测量透射/反射特性

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：面形精度λ/20@632.8nm

2.BrukerContourElite白光干涉仪：表面粗糙度测量分辨率0.1nm

3.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：波长精度0.1nm

4.RenishawinViaQontor拉曼光谱仪：空间分辨率0.5μm

5.KeysightN1076A脉冲激光测试系统：功率测量范围10μJ-10J

6.MitutoyoCMM-CrystaApexS坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm

7.ThermoScientificARLEQUINOX3000XRD：晶格常数测定精度0.0001

8.Agilent5500AFM原子力显微镜：Z轴分辨率0.05nm

9.Instron6800系列万能材料试验机：载荷精度0.5%

10.EspecTAS-64热冲击试验箱：温变速率30℃/min