检测项目
1.光谱响应范围：测量波长400-1800nm范围内的响应度（A/W），精度2%
2.暗电流特性：在反向偏压1-10V条件下测试漏电流（nA级），温度控制0.5℃
3.量子效率：计算400-1600nm波段内光子-电子转换效率（%），重复性误差≤1.5%
4.响应时间：测定上升时间（10%-90%）和下降时间（90%-10%），分辨率1ns
5.抗损伤阈值：激光辐照功率密度测试（W/cm），依据ISO21254-1:2011标准
检测范围
1.锗光电二极管（Ge-PIN/APD）
2.红外焦平面阵列探测器
3.激光光学窗口片（厚度0.5-10mm）
4.热成像仪锗透镜组件
5.光纤通信用锗基光接收模块
检测方法
1.ASTME1028-15半导体材料光谱响应测试规程
2.ISO4892-3:2016光电元件环境试验方法
3.GB/T15651.2-2021半导体器件机械和气候试验方法
4.IEC60747-5-3:2020光电子器件测试标准
5.GB/T18904.3-2022光电子器件可靠性试验程序
检测设备
1.Keithley2636B源表：暗电流与I-V特性测试，分辨率0.1fA
2.OceanOpticsHR4000光谱仪：200-2500nm光谱分析，光学分辨率0.2nm
3.AgilentB1500A半导体分析仪：纳秒级瞬态响应测试
4.LabsphereLMS-7600积分球：量子效率绝对测量系统
5.Newport818系列光功率计：波长范围400-1800nm，精度0.5%
6.ThermoScientificLN₂低温恒温器：77K-300K变温测试系统
7.OphirPE50BF-DIF-HP激光损伤测试仪：最大功率500W/cm
8.BrukerDektakXT轮廓仪：表面粗糙度Ra≤5nm测量
9.KeysightN5227A网络分析仪：10MHz-67GHz高频特性分析
10.ZeissAxioImager.M2m金相显微镜：500倍缺陷观测系统